拓思精工科技(苏州)有限公司惠二援获国家专利权
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龙图腾网获悉拓思精工科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆刷洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223338014U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422585465.X，技术领域涉及：B08B13/00；该实用新型晶圆刷洗装置是由惠二援;宋昌万;孔玉朋;蒋君;陈传磊设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆刷洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及的晶圆刷洗装置，其包括分别设置在晶圆上方和下方的上刷洗部件和下刷洗部件、用于向晶圆上表面和下表面喷淋清洗液的喷淋部件，刷洗装置还包括同步轴、旋转驱动部件以及升降驱动部件，同步轴竖直延伸设置，上刷洗部件和下刷洗部件分别连接在同步轴上，且所形成的刷洗端上下对齐。本实用新型一方面通过上下刷洗部件与同步轴的配合，能够灵活调整上下刷洗部件以确保上下刷洗部件之间形成与晶圆相匹配的刷洗区域，从而适用不同规格晶圆的刷洗，且有效提升刷洗效果；另一方面基于上下刷洗端对齐下，通过上下刷洗部件绕着同步轴中心线同步转动，确保晶圆上下表面受力位置精准对齐，有效避免晶圆变形损坏，提高产品良品率。
本实用新型晶圆刷洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆刷洗装置，其包括分别设置在晶圆上方和下方的上刷洗部件和下刷洗部件、用于向晶圆上表面和下表面喷淋清洗液的喷淋部件，其特征在于：所述刷洗装置还包括同步轴、旋转驱动部件以及升降驱动部件，所述同步轴竖直延伸设置，所述上刷洗部件和下刷洗部件分别连接在所述同步轴上，且所形成的刷洗端上下对齐，其中所述上刷洗部件和或下刷洗部件能够沿着所述同步轴上下运动设置；所述旋转驱动部件驱动所述上刷洗部件和下刷洗部件绕着所述同步轴中心线同步转动；所述升降驱动部件驱动所述上刷洗部件和或下刷洗部件沿着所述同步轴上下运动，并保持所述上刷洗部件和下刷洗部件之间形成与晶圆相匹配的刷洗区。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓思精工科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴江区平望镇梅堰西路58号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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