河北碳禾新材料有限公司武东旭获国家专利权
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龙图腾网获悉河北碳禾新材料有限公司申请的专利一种沉积炉多功能散气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223342812U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422536967.3，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种沉积炉多功能散气装置是由武东旭;潘治衡;刘鹏利设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沉积炉多功能散气装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及沉积炉技术领域，具体为一种沉积炉多功能散气装置，包括活动座和气盖，所述活动座顶端活动套接有气盖，所述气盖处设置有四组贯通的出气口，所述出气口处均连接有散气管，所述散气管的输出端分别装配有散气嘴和散气口，所述散气嘴内开设有流道，所述流道内焊接有固定座，所述固定座内部开设有堵槽，所述堵槽内活动套接有堵头，所述堵头顶端焊接有活动块，所述散气嘴顶端四角均焊接有支管。该沉积炉多功能散气装置通过设置有密封圈槽，该散气嘴在气盖底端设置有四组，通过活动的堵头以及多处气流孔的设计，散了气流的冲击力，根据气压大小自动散气，从而降低了气流对内部结构的破坏风险，解决了过压高温气流冲击的问题。
本实用新型一种沉积炉多功能散气装置在权利要求书中公布了：1.一种沉积炉多功能散气装置，包括活动座（2）和气盖（7），其特征在于：所述活动座（2）顶端活动套接有气盖（7），所述气盖（7）处设置有四组贯通的出气口（5），所述出气口（5）处均连接有散气管（6），所述散气管（6）的输出端分别装配有散气嘴（1）和散气口（9），所述散气嘴（1）内开设有流道（12），所述流道（12）内焊接有固定座（10），所述固定座（10）内部开设有堵槽（18），所述堵槽（18）内活动套接有堵头（17），所述堵头（17）顶端焊接有活动块（16），所述散气嘴（1）顶端四角均焊接有支管（13），所述活动块（16）内四角均设置有杆槽（19），所述支管（13）贯穿杆槽（19）并向上固定连接有顶片（14），所述顶片（14）和活动块（16）之间固定连接有弹簧（15）。
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