苏州德亚精密科技有限公司孔令营获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德亚精密科技有限公司申请的专利一种多点布局进气环腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223338012U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422512713.8，技术领域涉及：B08B13/00；该实用新型一种多点布局进气环腔体是由孔令营;袁卫星设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多点布局进气环腔体在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体清洁领域，公开了一种多点布局进气环腔体，包括固定机构，所述固定机构包括内固定环和两个磁吸环，所述内固定环内侧靠下端固定设置有内分流环，所述内固定环内部靠上方开设有滑槽，所述固定机构外侧卡接转动设置有旋转机构，所述旋转机构包括外旋转体，所述外旋转体上端靠边缘处开设有多个上进气孔，所述外旋转体周身靠近上进气孔上方部分固定设置有上分流环。本实用新型中，该装置可实现旋流式进气，配合多孔和多方向导向的设计，可使气体更迅速进行扩散，并提高扩散均匀性，通过导向设计可减少进气环厚度对气体流通的影响，可提高清洁效率，降低清洁成本。
本实用新型一种多点布局进气环腔体在权利要求书中公布了：1.一种多点布局进气环腔体，包括固定机构1，其特征在于：所述固定机构1包括内固定环101和两个磁吸环103，所述内固定环101内侧靠下端固定设置有内分流环102，所述内固定环101内部靠上方开设有滑槽104； 所述固定机构1外侧卡接转动设置有旋转机构2，所述旋转机构2包括外旋转体201，所述外旋转体201上端靠边缘处开设有多个上进气孔205，所述外旋转体201周身靠近上进气孔205上方部分固定设置有上分流环203，所述外旋转体201周身靠近上进气孔205下方部分固定设置有下分流环202，所述外旋转体201内侧靠近滑槽104区域固定设置有转盘206，所述转盘206靠中心处圆环内固定设置有多个风车板207，所述外旋转体201下端靠边缘处开设有多个下出气孔204。
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