浙江创芯集成电路有限公司宋喆宏获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223342802U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422509682.0，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种溅射设备是由宋喆宏;李扬;李平;汤云杰;陈祖强设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种溅射设备，所述溅射设备，包括：遮挡环，开设有换气通道，所述换气通道为环形结构，所述换气通道的侧壁上开设有至少一个出风口；中空支撑柱，所述中空支撑柱上升后，所述中空支撑柱的一端端口与所述换气通道连通，用于向所述换气通道输送清洁气体，另一端端口与外部清洁气体提供源连接。本申请实施例提供的溅射设备通过在溅射设备的遮挡环中开设换气通道，使得在中空支撑柱上升后，与所述换气通道连通，使得清洁气体可以进入溅射设备，对基材进行清洁，避免基材与遮挡环粘连导致的基材损伤。
本实用新型一种溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种溅射设备，其特征在于，包括： 遮挡环，开设有换气通道，所述换气通道为环形结构，所述换气通道的侧壁上开设有至少一个出风口； 中空支撑柱，所述中空支撑柱上升后，其一端端口与所述换气通道连通，用于向所述换气通道输送清洁气体，另一端端口与外部清洁气体提供源连接。
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