东京毅力科创株式会社中岛清次获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347199U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422409237.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型基板处理装置是由中岛清次;渡边刚史;大园启;榎木田卓设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及基板处理装置。抑制随着高生产率化而引起的基板处理装置的大型化。基板处理装置具备：送入送出模块，其具有载置多个构成为能够容纳基板的容器的容器载置部；和处理模块，其与送入送出模块沿宽度方向相邻地设置，并具有多个对基板实施处理的处理单元，在送入送出模块的处理模块侧设有用于交接基板的交接单元层叠而成的交接模块，以用于与该处理模块之间的交接，送入送出模块还具有在容器载置部和交接模块之间输送基板的第1输送机构，处理模块还具有在交接模块和处理单元之间输送基板的第2输送机构，第1输送机构具有支承基板的支承部，并构成为能够使支承于支承部的基板在俯视时沿与宽度方向交叉的进深方向通过交接模块。
本实用新型基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置具备： 送入送出模块，其具有载置多个构成为能够容纳基板的容器的容器载置部；和 处理模块，其与所述送入送出模块沿宽度方向相邻地设置，并具有多个对所述基板实施处理的处理单元， 在所述送入送出模块中的靠所述处理模块侧的位置设有交接模块，以用于与该处理模块之间的交接，该交接模块通过用于交接所述基板的交接单元层叠而成， 所述送入送出模块还具有在所述容器载置部和所述交接模块之间输送所述基板的第1输送机构， 所述处理模块还具有在所述交接模块和所述处理单元之间输送所述基板的第2输送机构， 所述第1输送机构具有支承所述基板的支承部， 所述第1输送机构构成为能够使支承于所述支承部的基板在俯视时沿与所述宽度方向交叉的进深方向通过所述交接模块。
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