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龙图腾网获悉陕西亚成微电子股份有限公司申请的专利一种晶圆测试座获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223346911U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422387132.6，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型一种晶圆测试座是由王明;王文杰;刘库;黄兴东;林维设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆测试座在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆测试座，主要用于解决现有小型探针台或ATE测试设备对于晶圆尺寸有一定的限制，不支持12寸晶圆的测试，以及探针头较小，无法支持大电流的测试，导致测试得出的导通阻抗不准确，MOS管在实际工作过程中能量损耗的技术问题。本实用新型包括上盖和底座。第一探针安装在上盖中，第二探针和晶圆均安装在底座中。上盖与底座扣合后，第一探针与晶圆的漏极接触，第二探针与晶圆的栅极和源极接触。本实用新型中，底座中设置有定位组件，用于对不同尺寸的晶圆进行定位，可以取样部分12寸晶圆，直接连接外部测试设备进行摸底，使用方便。解决了现有测试设备不支持12寸晶圆的测试的技术问题。

本实用新型一种晶圆测试座在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试座，其特征在于：包括开合式连接的上盖和底座； 所述上盖包括上定位框架3和第一探针组件；所述上定位框架3内部中空；所述第一探针组件安装在上定位框架3内；第一探针组件用于在上盖闭合时与晶圆的漏极接触； 所述底座包括下定位框架7、晶圆卡槽板9、定位组件、第二探针组件和测试电路板12； 所述下定位框架7的一侧与上定位框架3铰接；下定位框架7固连在测试电路板12上，测试电路板12与第一探针组件电连接，还与外部终端测试设备电连接； 所述晶圆卡槽板9安装在下定位框架7内，所述晶圆卡槽板9上设置有第一凹槽91、第二凹槽92和第三凹槽93；所述第一凹槽91用于安装晶圆；所述第二凹槽92位于第一凹槽91的一顶角处，且与第一凹槽91连通，所述第三凹槽93垂直设置于第二凹槽92且与第二凹槽92连通； 所述定位组件包括弹性定位台8和限位卡扣；所述弹性定位台8安装在第二凹槽92中；弹性定位台8为阶梯结构，包括至少两层台阶，其中最下层的台阶上设置有多层卡槽，用于分别卡接不同尺寸晶圆的一个顶角；所述限位卡扣安装在第三凹槽93中，并与对应的台阶固连，用于对弹性定位台8进行限位； 所述第二探针组件安装在下定位框架7内，并通过弹簧螺丝连接在晶圆卡槽板9的下方，第二探针组件的一端用于与晶圆底部的栅极和源极接触，另一端固连在测试电路板12上。

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