天骏创客(江苏)有限公司唐浩获国家专利权
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龙图腾网获悉天骏创客(江苏)有限公司申请的专利直流溅射电源生产用翻转式作业台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223342809U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422350332.4,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型直流溅射电源生产用翻转式作业台是由唐浩;吴凯;张杰;曲超;陈磊;郭春辉设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本直流溅射电源生产用翻转式作业台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了直流溅射电源生产用翻转式作业台,包括底座,所述底座的上方设置有安装台,所述安装台的两侧均固定连接有转动架,所述底座的上端一侧固定连接有支撑箱,所述支撑箱的内壁一侧固定安装有驱动装置一,所述驱动装置一的输出端与其中一个所述转动架的一侧固定连接,所述安装台的下端中部固定连接有导向环。本实用新型通过驱动装置一与驱动装置二的结构设计,开启驱动装置一,使固定箱上固定的靶材基板翻转,开启驱动装置二,使齿轮盘转动,从而使固定箱上的固定的靶材基板旋转,当驱动装置一与驱动装置二同时开启,使固定箱上固定的靶材基板可以调节到任何角度,从而提高了作业台便利性和镀膜质量。
本实用新型直流溅射电源生产用翻转式作业台在权利要求书中公布了:1.直流溅射电源生产用翻转式作业台,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上方设置有安装台(5),所述安装台(5)的两侧均固定连接有转动架(4),所述底座(1)的上端一侧固定连接有支撑箱(2),所述支撑箱(2)的内壁一侧固定安装有驱动装置一(3),所述驱动装置一(3)的输出端与其中一个所述转动架(4)的一侧固定连接,所述安装台(5)的下端中部固定连接有导向环(7),所述导向环(7)的内壁转动连接有齿轮盘(9),所述齿轮盘(9)的上端固定连接有连接轴(11),所述连接轴(11)的一端固定连接有旋转台(8),所述安装台(5)的下端一侧固定安装有驱动装置二(6),所述驱动装置二(6)的输出端传动连接有驱动齿轮(10),所述驱动齿轮(10)的外表面与所述齿轮盘(9)的外表面啮合。
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