季华实验室侯少毅获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种远程等离子体源腔体结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119053000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411332595.0，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权一种远程等离子体源腔体结构是由侯少毅;郭晓东;肖慧;何斌;郭远军;胡强;王凤双;杨振怀设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子体源腔体结构在说明书摘要公布了：本申请属于等离子产成设备技术领域，公开了一种远程等离子体源腔体结构，在环形腔体的出气口处设置具有孔道和第一螺旋叶片的螺旋分离器以及副驱动线圈，利用副驱动线圈产生的磁场约束等离子体的运动范围，使等离子体从孔道穿过，输出气流中的污染颗粒物不受该磁场影响从而在螺旋流动过程中与第一螺旋叶片和出气口内壁摩擦降速并最终被吸附，有效减少从出气口输出的等离子体中包含的污染颗粒物的含量。
本发明授权一种远程等离子体源腔体结构在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子体源腔体结构，包括环形腔体（1）和缠绕在所述环形腔体（1）上的主驱动线圈（2），所述环形腔体（1）设置有进气口（101）和出气口（102）；其特征在于，所述出气口（102）外缠绕有副驱动线圈（3），所述出气口（102）内设置有螺旋分离器（4），所述螺旋分离器（4）包括与所述副驱动线圈（3）同轴设置的孔道（401）以及围绕所述孔道（401）设置的第一螺旋叶片（402）；所述副驱动线圈（3）用于产生磁场约束等离子体，使所述等离子体从所述孔道（401）穿过并输出；所述第一螺旋叶片（402）用于粘附从所述第一螺旋叶片（402）表面流过的污染颗粒物； 所述螺旋分离器（4）还包括与所述出气口（102）同轴设置的中心筒体（403），所述孔道（401）为开设在所述中心筒体（403）上的轴向通孔，所述第一螺旋叶片（402）连接在所述中心筒体（403）的外周面上； 所述第一螺旋叶片（402）与所述出气口（102）的内壁接触； 所述螺旋分离器（4）的材料为陶瓷。
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