江苏集芯先进材料有限公司陈传卫获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利用于碳化硅晶片的目检辅助支架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223347764U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422339320.1,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型用于碳化硅晶片的目检辅助支架是由陈传卫;吴建设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于碳化硅晶片的目检辅助支架在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片的目检辅助支架,包括:底座;支撑杆,所述支撑杆竖向设置,所述支撑杆的底端与所述底座相连;斜杆,所述斜杆为三个,三个所述斜杆绕所述支撑杆的周向间隔排布,每个所述斜杆的底端与所述支撑杆的顶端相连,所述斜杆的顶端斜向上延伸;柔性套筒,所述柔性套筒为三个,三个所述柔性套筒一一对应地外套于所述斜杆,三个所述柔性套筒的顶点所在圆的直径为125mm‑140mm。根据本实用新型的用于碳化硅晶片的目检辅助支架,在对晶片进行目检时,可将碳化硅晶片放置到目检辅助支架上,便于观察碳化硅晶片边缘的缺陷,同时可以兼容六寸以及八寸晶片,方便检验员对不同尺寸的碳化硅晶片进行目检。
本实用新型用于碳化硅晶片的目检辅助支架在权利要求书中公布了:1.一种用于碳化硅晶片的目检辅助支架,其特征在于,包括: 底座; 支撑杆,所述支撑杆竖向设置,所述支撑杆的底端与所述底座相连; 斜杆,所述斜杆为三个,三个所述斜杆绕所述支撑杆的周向间隔排布,每个所述斜杆的底端与所述支撑杆的顶端相连,所述斜杆的顶端斜向上延伸; 柔性套筒,所述柔性套筒为三个,三个所述柔性套筒一一对应地外套于所述斜杆,三个所述柔性套筒的顶点在同一高度,三个所述柔性套筒的顶点所在圆的直径为125mm-140mm,所述柔性套筒为硅胶件,所述柔性套筒的顶端厚度为3mm-4mm,所述柔性套筒的周壁的厚度为1mm-2mm。
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