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盐城法柯特科技有限公司施玉良获国家专利权

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龙图腾网获悉盐城法柯特科技有限公司申请的专利一种绑定旋转靶材以及用于绑定该靶材的密封组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223342805U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422305576.0,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种绑定旋转靶材以及用于绑定该靶材的密封组件是由施玉良;徐文斌;王海琴设计研发完成,并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种绑定旋转靶材以及用于绑定该靶材的密封组件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及靶材生产技术领域,尤其涉及一种绑定旋转靶材以及用于绑定该靶材的密封组件。包括背管,所述背管的外部套设有至少两个靶管,所述背管和靶管之间设置有绑定层,相邻的靶管之间设置有膨胀缝,所述膨胀缝处设置有密封环,所述密封环套设在背管的外部,所述密封环的外径等于靶管的内径,所述密封环的内径等于背管的外径,所述密封环的材质为聚四氟乙烯。本实用新型上的绑定层不会被溅射出来,从而不会使薄膜质量下降。

本实用新型一种绑定旋转靶材以及用于绑定该靶材的密封组件在权利要求书中公布了:1.一种绑定旋转靶材,包括背管(1),所述背管(1)的外部套设有至少两个靶管(2),所述背管(1)和靶管(2)之间设置有绑定层(3),相邻的靶管(2)之间设置有膨胀缝,其特征在于:所述膨胀缝处设置有密封环(41),所述密封环(41)套设在背管(1)的外部,所述密封环(41)的外径等于靶管(2)的内径,所述密封环(41)的内径等于背管(1)的外径,所述密封环(41)的厚度等于膨胀缝的宽度,所述密封环(41)的材质为聚四氟乙烯。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人盐城法柯特科技有限公司,其通讯地址为:224000 江苏省盐城市高新区凤凰南路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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