深圳市鑫意晟科技有限公司李丽欢获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鑫意晟科技有限公司申请的专利镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223342803U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422301958.6,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型镀膜设备是由李丽欢;赵显东设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请提供了镀膜设备,镀膜设备包括腔体、电源模组。腔体包括腔体主体、及装设于腔体主体的腔门,腔体主体与腔门围设形成镀膜空间,每个腔门能够相对腔体主体转动以打开或关闭镀膜空间,且腔门靠近镀膜空间的一侧用于装设靶材及连接靶材的阴极。电源模组装设于腔体主体且用于电连接阴极。本申请将电源模组设置在腔体主体上,不仅减小了电源模组负极到阴极的距离,降低了路径上的能量损耗和反应时间,同时电源模组重量可全部承载在腔体主体,不会给腔门的铰链增加额外的负载,从而减少了铰链的磨损,并且使得阴极的拆卸更为简洁。
本实用新型镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备,其特征在于,所述镀膜设备包括: 腔体,所述腔体包括腔体主体、及装设于所述腔体主体的腔门,所述腔体主体与所述腔门围设形成镀膜空间,每个所述腔门能够相对所述腔体主体转动以打开或关闭所述镀膜空间,且所述腔门靠近所述镀膜空间的一侧用于装设靶材及连接所述靶材的阴极; 电源模组,所述电源模组装设于所述腔体主体且用于电连接所述阴极。
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