深圳市矩阵多元科技有限公司黎佐兴获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种靶材组件短路自锁结构及真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223342804U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422302545.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种靶材组件短路自锁结构及真空镀膜设备是由黎佐兴;杨洪生;朱新华;张晓军设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材组件短路自锁结构及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种靶材组件短路自锁结构及真空镀膜设备，涉及真空薄膜沉积技术领域，包括第一箱体、第二箱体和控制电路，控制电路包括电源，第一箱体上安装有靶背板和接触组件，接触组件包括活动销和接触片，靶背板连接电源并带负电压，接触片固定于活动销的末端，第二箱体上设有顶柱，第一箱体和第二箱体闭合时，活动销弹性压触顶柱，接触片不与靶背板接触，第一箱体移动并远离于第二箱体时，接触片接触靶背板，以使第一箱体与靶背板短路，控制电路能够断开靶背板与电源的连接，以使设备打开后不带电，避免产生操作人员的触电风险，提高操作安全性。
本实用新型一种靶材组件短路自锁结构及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材组件短路自锁结构，其特征在于，包括： 第一箱体、第二箱体和控制电路，所述第一箱体和所述第二箱体能够相互开合，所述控制电路包括电源，所述第一箱体上安装有靶背板和接触组件，所述接触组件包括活动销和接触片，所述靶背板连接所述电源并带负电压，所述接触片固定于所述活动销的末端，所述第二箱体上设有顶柱，所述第一箱体和所述第二箱体闭合时，所述活动销弹性压触所述顶柱，所述接触片不与所述靶背板接触，所述第一箱体移动并远离于所述第二箱体时，所述接触片接触所述靶背板，以使所述第一箱体与所述靶背板短路，所述控制电路能够断开所述靶背板与电源的连接。
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