北京航空航天大学刘欢获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种接触或近接触的图案化设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347736U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422286352.X，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种接触或近接触的图案化设备是由刘欢;李燕;孟利利设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种接触或近接触的图案化设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种接触或近接触的图案化设备。所述图案化设备包括:能够在X方向和Y方向移动的基底载台；图案化部件，能够在Z方向移动，具有与待图案化的基底接触或近接触的图案化端部；观察部件，所述观察部件的观察视野对准所述图案化端部，并包括待图案化的基底的部分或全部图案化区域，且所述观察部件与图案化部件具有可调的固定空间关系。本实用新型获得了三维上均可以灵活移动的图案化设备，并能够实时地观察到接触或近接触的图案化的起始状态，并对图案化的过程进行监测。
本实用新型一种接触或近接触的图案化设备在权利要求书中公布了：1.一种接触或近接触的图案化设备，其特征在于，所述图案化设备包括： 能够在X方向和Y方向移动的基底载台； 图案化部件，能够在Z方向移动，具有与待图案化的基底接触或近接触的图案化端部； 观察部件，所述观察部件的观察视野对准所述图案化端部，并包括待图案化的基底的部分或全部图案化区域，且所述观察部件与图案化部件具有可调的固定空间关系。
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