东京毅力科创株式会社水筱真一获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利液处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347739U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422274917.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型液处理装置是由水筱真一;印藤俊介;桾本裕一朗;丰泽聪大;石丸大辅;松竹勇贵;饭田重幸;羽山隆史设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本液处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及液处理装置。根据情况而以适合的方式监视多个喷嘴的状态。液处理装置具备：多个载物台，其分别载置基板；多个喷嘴，其共用于该多个载物台，用于向所述基板供给处理液；照相机，其共用于该多个喷嘴，用于监视该多个喷嘴的状态；以及拍摄条件变更部，其根据监视条件而变更所述照相机的拍摄条件。
本实用新型液处理装置在权利要求书中公布了：1.一种液处理装置，其特征在于， 该液处理装置具备： 多个载物台，其分别载置基板； 多个喷嘴，其共用于该多个载物台，用于向所述基板供给处理液； 照相机，其共用于该多个喷嘴，用于监视该多个喷嘴的状态；以及 拍摄条件变更部，其根据监视条件而变更所述照相机的拍摄条件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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