北京晶亦精微科技股份有限公司刘宜霖获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223339161U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422266418.9，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型抛光装置是由刘宜霖;尹影;李婷;庞浩;王占想设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种抛光装置，包括抛光头、抛光盘和多个解热单元；抛光头的下侧面用于固定晶圆；抛光盘的上表面为用于与晶圆接触的抛光接触面；多个解热单元分别嵌设于抛光盘内，每个解热单元的上部均形成吸热部，吸热部临近抛光接触面设置，解热单元还具有冷却通道，冷却通道内流通有冷却介质，以吸收吸热部中的热量。本实用新型解决了SiC等超硬新型半导体材料CMP过程中抛光部件积热的问题，限制了抛光系统温度的升高，从而改善了由于温度问题造成的抛光压力与材料去除率的瓶颈、提升了抛光盘和抛光头的使用寿命、提升了平坦化工艺效果、降低了单片晶圆抛光COC成本。
本实用新型抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光装置，其特征在于，包括： 抛光头1，下侧面用于固定晶圆4； 抛光盘2，上表面为用于与晶圆4接触的抛光接触面201； 多个解热单元3，分别嵌设于所述抛光盘2内，每个所述解热单元3的上部均形成吸热部，所述吸热部临近所述抛光接触面201设置，所述解热单元3还具有冷却通道，所述冷却通道内流通有冷却介质，以吸收所述吸热部中的热量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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