芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司王飞飞获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利晶圆装卸机构的测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223346423U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422236412.7，技术领域涉及：G01M13/00；该实用新型晶圆装卸机构的测试装置是由王飞飞设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆装卸机构的测试装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆装卸机构的测试装置。包括：机架，包括至少三个支撑脚；第一测试平台，固定设置在机架上，用于放置所述晶圆装卸机构；输气机构，用于给放置于测试平台的所述晶圆装卸机构输送预设气压的气流；第一振动测试仪，在所述晶圆装卸机构被输送气流的时候，测量机架的振动值。本申请的技术方案，提高了晶圆的良品率。
本实用新型晶圆装卸机构的测试装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装卸机构的测试装置，用于测试晶圆装卸机构，所述晶圆装卸机构包括底座和负载杯，其特征在于，所述晶圆装卸机构的测试装置包括： 机架，包括至少三个支撑脚； 第一测试平台，固定设置在机架上，用于放置所述晶圆装卸机构； 输气机构，用于给放置于测试平台的所述晶圆装卸机构输送预设气压的气流； 第一振动测试仪，在所述晶圆装卸机构被输送气流的时候，测量机架的振动值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号-17；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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