拓荆科技股份有限公司汤雨竹获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种固化工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223337743U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422113961.5，技术领域涉及：B05D3/06；该实用新型一种固化工艺设备是由汤雨竹设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固化工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种固化工艺设备。该固化工艺设备包括：工艺腔体，其内部放置待进行薄膜固化的晶圆；灯箱，位于所述工艺腔体内的上方，内部设有紫外光源，用于提供固化所述薄膜的紫外光线；通风管路，其一端连接所述灯箱，另一端连通外部；以及旋转电机，装配在所述灯箱外部的与所述通风管路的接口处，用于驱动所述灯箱旋转照射下方的所述晶圆的表面，使晶圆表面各区域的光照强度均匀。本实用新型能够去除皮带等中间传输介质的干扰因素，延长固化工艺设备的使用寿命，提升固化工艺过程中固化光照的准确度及其可调性。
本实用新型一种固化工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种固化工艺设备，其特征在于，包括： 工艺腔体，其内部放置待进行薄膜固化的晶圆； 灯箱，位于所述工艺腔体内的上方，内部设有紫外光源，用于提供固化所述薄膜的紫外光线； 通风管路，其一端连接所述灯箱，另一端连通外部；以及 旋转电机，装配在所述灯箱外部的与所述通风管路的接口处，用于驱动所述灯箱旋转照射下方的所述晶圆的表面，使晶圆表面各区域的光照强度均匀。
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