江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司徐洲获国家专利权
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龙图腾网获悉江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利水平结构LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119029104B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411162498.1,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权水平结构LED芯片及其制备方法是由徐洲;金钊;马婷;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本水平结构LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种水平结构LED芯片及其制备方法,涉及半导体光电器件领域。LED芯片的制备方法包括以下步骤:S1、提供外延片;S2、刻蚀外延片表面形成多个凸起;S3、在步骤S2得到的外延片上形成介质层;S4、刻蚀介质层,形成第一通孔;S5、形成金属反射层;S6、在金属反射层上形成键合层;S7、与第二衬底键合;S8、去除第一衬底,暴露N型半导体层;S9、在N型半导体层上形成N电极;S10、刻蚀形成刻蚀至P型接触层的第二通孔;S11、形成P电极,得到LED晶圆;所述P电极通过所述第二通孔与所述P电极形成电连接;S12、将所述LED晶圆切割,得到水平结构LED芯片。实施本发明,可提升光提取效率,提升水平结构LED芯片的可靠性。
本发明授权水平结构LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种水平结构LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、提供外延片,所述外延片包括第一衬底和依次设于所述第一衬底上的N型半导体层、有源层、P型半导体层和P型接触层;所述P型接触层包括第一预设区域和第二预设区域; S2、将所述P型接触层刻蚀,在第一预设区域形成多个凸起,相邻凸起之间设置凹槽;所述凸起的高度小于等于所述P型接触层厚度的50%; S3、在步骤S2得到的外延片上形成介质层,其中,所述介质层的厚度小于所述凹槽的深度,所述介质层的折射率小于所述P型接触层的折射率; S4、刻蚀所述介质层,以在所述凸起的顶部形成多个暴露所述凸起的第一通孔; S5、在步骤S4得到的外延片上形成金属反射层,所述金属反射层填平所述凹槽; S6、在所述金属反射层上形成键合层; S7、将步骤S6得到的外延片与第二衬底键合; S8、去除所述第一衬底,暴露所述N型半导体层; S9、在所述N型半导体层上形成N电极,得到中间体; S10、在所述中间体上形成多个刻蚀至P型接触层的第二通孔;所述第二通孔设于所述第二预设区域;并在所述第二通孔内形成多个刻蚀至所述金属反射层的第三通孔; S11、在步骤S10得到的中间体上形成P电极,得到LED晶圆;所述P电极通过所述第二通孔与所述P型接触层形成电连接;所述P电极通过所述第三通孔与所述金属反射层形成电连接; S12、将所述LED晶圆切割,得到水平结构LED芯片。
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