东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司马海禄获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利用于静电吸盘的晶圆顶升装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347763U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422023738.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型用于静电吸盘的晶圆顶升装置及半导体设备是由马海禄;许鸿亮设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于静电吸盘的晶圆顶升装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种用于静电吸盘的晶圆顶升装置及半导体设备，其中，用于静电吸盘的晶圆顶升装置包括升降单元、驱动单元和压力开关，升降单元包括连架及沿第一方向延伸的多个升降柱，多个升降柱均固接于连架，升降柱包括第一端面，驱动单元包括连接于升降单元的驱动部件，压力开关安装于升降单元及驱动部件中的至少一者，以检测相应位置处沿第一方向的力。根据本申请实施例，能够判断静电吸盘是否完全释放晶圆，提高传片的安全性，降低晶圆碎裂的风险，同时提高整体设备的稳定性。
本实用新型用于静电吸盘的晶圆顶升装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种用于静电吸盘的晶圆顶升装置，其特征在于，包括： 升降单元，包括连架及沿第一方向延伸的多个升降柱，多个所述升降柱均固接于所述连架，所述升降柱包括第一端面，多个所述升降柱相应的第一端面用于同步承托晶圆； 驱动单元，用于向所述升降单元提供沿所述第一方向的驱动力，所述驱动单元包括连接于所述升降单元的驱动部件； 压力开关，安装于所述升降单元及所述驱动部件中的至少一者，以检测相应位置处沿所述第一方向的力，所述压力开关与所述驱动部件信号连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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