上海交通大学;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王夺获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119063970B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411120235.4,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置及方法是由王夺;杨晨光;王开志;刘晓冰;付天骄;闫浩设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置及方法,其中装置包括:激光源、准直扩束镜、分束立方体和探测器,准直扩束镜将激光源生成的激光转换为均匀平行光,均匀平行光经分束立方体透射至待测的空间光调制器后,待测的空间光调制器反射的光线经分束立方体反射至探测器的输入端,其中,空间光调制器被配置为加载柱透镜的相位图进行聚焦;判断探测器所采集到的图像中亮线是否均匀,若为是,则待测的空间光调制器表面无缺陷,反之,则待测的空间光调制器表面存在缺陷。与现有技术相比,本发明具有提高检测效率等优点。
本发明授权基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于加载相位透镜的相位型空间光调制器缺陷检测装置,其特征在于,包括激光源(1)、准直扩束镜(2)、分束立方体(3)和探测器(5),所述准直扩束镜(2)将激光源(1)生成的激光转换为均匀平行光,所述均匀平行光经分束立方体(3)透射至待测的空间光调制器(4)后,待测的空间光调制器(4)反射的光线经分束立方体(3)反射至探测器(5)的输入端,其中,所述空间光调制器(4)被配置为加载柱透镜的相位图进行聚焦; 判断探测器(5)所采集到的图像中亮线是否均匀,若为是,则待测的空间光调制器(4)表面无缺陷,反之,则待测的空间光调制器(4)表面存在缺陷。
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