中国科学院上海硅酸盐研究所钱荣获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海硅酸盐研究所申请的专利调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028802B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411117392.X，技术领域涉及：H01J49/20；该发明授权调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法是由钱荣;张越;何成根;卓尚军;泮嘉玮;李显;盛成设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法，该装置包括：磁体和绝缘板；所述磁体包括球形磁体和环形磁体；所述绝缘板沿高度方向设置有圆形通孔和环形通孔，所述圆形通孔与所述环形通孔为同心圆，所述环形通孔的内径大于所述圆形通孔的直径，所述球形磁体适配装设于所述圆形通孔内，所述球形磁体的直径等于所述圆形通孔的深度；所述环形磁体适配装设于所述环形通孔内，所述环形磁体的高度等于所述环形通孔的深度；所述环形磁体的磁极方向与所述绝缘板沿高度方向平行，所述球形磁体与所述环形磁体的磁极方向相反。本发明中，有效地改善溅射坑形貌不平坦、溅射不均匀的问题，并且在提高信号强度的基础上提高深度分辨率。
本发明授权调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置，其特征在于，包括：磁体和绝缘板； 所述磁体包括球形磁体和环形磁体，所述球形磁体用于提供球形磁场，所述环形磁体用于提供环形磁场； 所述绝缘板沿高度方向设置有圆形通孔和环形通孔，所述圆形通孔与所述环形通孔为同心圆，所述环形通孔的内径大于所述圆形通孔的直径，所述球形磁体适配装设于所述圆形通孔内，所述球形磁体的直径等于所述圆形通孔的深度；所述环形磁体适配装设于所述环形通孔内，所述环形磁体的高度等于所述环形通孔的深度； 所述环形磁体的磁极方向与所述绝缘板沿高度方向平行，所述球形磁体的磁极方向与所述环形磁体的磁极方向相反。
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