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中国电子科技集团公司第四十四研究所邓光平获国家专利权

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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十四研究所申请的专利具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元及阵列获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119008353B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411103763.9,技术领域涉及:H01J1/78;该发明授权具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元及阵列是由邓光平;王柳;李梦萄;王小东;刘昌举;钟玉杰设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。

具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元及阵列在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元及阵列,探测器单元包括入射区和电荷收集区,电荷收集区的正面通过注入形成有中心注入区、第一环形注入区和第二环形注入区,第一环形注入区的外沿与第二环形注入区的内沿相接,中心注入区和第一环形注入区之间形成有环形的隔离区。本发明中,通过对探测器单元结构的改进,在探测器单元内部形成漏斗形状的电荷收集电场,有效地提高了电子轰击光电探测器的收集效率,从而可以减小电荷收集端的面积,进而降低节点电容,提高电荷转换增益和信号处理带宽能力;并能消除因电子扩散造成的信号串扰,具有高电荷收集效率、高转换增益、高带宽和低串扰的优良性能。

本发明授权具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元及阵列在权利要求书中公布了:1.一种具有电荷收集功能的电子轰击光电探测器单元,其特征在于:包括入射区和设置在入射区上的电荷收集区,所述入射区的背面形成电子轰击入射面;所述电荷收集区的正面通过注入形成有中心注入区、第一环形注入区和第二环形注入区,所述第一环形注入区设置在第二环形注入区的内部,且所述第一环形注入区的外沿与第二环形注入区的内沿相接,所述中心注入区设置在第一环形注入区的内部,且所述中心注入区和第一环形注入区之间形成有环形的隔离区;所述入射区连接有第一电极,所述中心注入区连接有第二电极,所述第二环形注入区连接有第三电极,所述第一环形注入区连接有第四电极; 所述入射区和第二环形注入区均为P+区,所述电荷收集区为N-区,所述中心注入区为N+区,所述第一环形注入区为P区; 所述第二电极的电势高于第四电极的电势,所述第四电极的电势高于第一电极的电势,所述第一电极的电势高于第三电极的电势,从而使电荷收集区中除了中心注入区下方的P-i-N结区域之外的区域形成完全耗尽区,并使中心注入区下方的P-i-N结区域未完全耗尽,形成漏斗状的非完全耗尽区。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第四十四研究所,其通讯地址为:400060 重庆市南岸区南坪花园路14号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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