浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司曾昱玮获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司申请的专利自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119067047B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411080197.4,技术领域涉及:G06F30/392;该发明授权自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法是由曾昱玮;韩雁;高大为设计研发完成,并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法。根据器件特性通过SkillScript语言编译参数化的ESD保护器件单元版图;器件版图作为光刻光罩定义器件几何结构,结合半导体工艺制备的工艺参数模拟三维器件,完成前道工艺(Front‑EndofLine,FEoL)的器件提取;通过布线电容参数提取方法将(Back‑EndofLine,BEoL)的金属层布线提取成电容模型或电容矩阵。完成准备工作后,将器件层与金属互连线层模型以Mix‑Mode仿真方法模拟,进一步指导设计性能优异的ESD保护器件。通过本发明的方法,可以自动化设计ESD保护器件,并实现对模型的精确提取与仿真,大幅降低了ESD保护器件开发中的设计优化复杂性,显著缩短开发周期。
本发明授权自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法在权利要求书中公布了:1.一种自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法,其特征在于,步骤包括: 保护器件选型与版图自动化:根据芯片端口的保护设计标准和制造工艺,选择适合的ESD保护器件类型;按照选型器件的版图参数存储为CDF参数代码模块,并编译器件主模块和几何关系函数模块;编译SkillScript将器件参数单元代码封装成参数化的ESD器件Pcell版图,实现编程驱动的版图自动化;器件层结构模拟,通过ESD器件版图作为光刻掩膜版定义器件几何结构,将器件几何结构与工艺材料结合,生成综合的器件层物理结构模型,该模型包括器件几何信息和制备工艺的材料信息,确保仿真模型的准确性;金属互连线SPICE电容模型提取,使用电容场求解器,导入后道制备工艺的物理信息和金属层布线版图;根据介质层厚度、介电常数、金属线形状及不同金属层的高度信息,提取金属互连线结构到焊盘的寄生电容模型和电容值;模型的网表综合连接器件层模型与金属互连线层模型的拓扑结构,使用Mix-Mode仿真方法,搭建TLP脉冲激励源TestBench测试平台,获取ESD保护器件的物理工作状态和静态IV曲线,从而实现ESD保护器件的仿真模拟。
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