买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118816730B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410792879.1，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法是由王可嘉;明子崴设计研发完成，并于2024-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法，属于太赫兹测量技术领域，方法包括：构建包括逆向模块和正向模块的无损检测模型；逆向模块的输入为第一椭偏光谱和第一补充光谱，输出为薄膜的折射率、消光系数和厚度，输出作为正向模块的输入；正向模块的输出为第二椭偏光谱和第二补充光谱；对仿真测量数据集进行预处理，得到退化测量数据集；将退化测量数据集中的椭偏光谱和补充光谱输入逆向模块，以正向模块输出的椭偏光谱和补充光谱相对于退化测量数据集中的椭偏光谱和补充光谱的误差最小为目标，训练无损检测模型。该方法充分利用多光束干涉信息，提高信号从待测物体所携带的信息量，从而获得更好的多层膜测量精度。

本发明授权一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法在权利要求书中公布了：1.一种无损检测多层薄膜光学常数和厚度的模型构建方法，其特征在于，包括： 构建无损检测模型；其中，所述无损检测模型包括逆向模块和正向模块；所述逆向模块的输入为第一椭偏光谱和第一补充光谱，输出为薄膜的折射率、消光系数和厚度；所述逆向模块的输出作为所述正向模块的输入，所述正向模块的输出为第二椭偏光谱和第二补充光谱； 对仿真测量数据集进行预处理，得到退化测量数据集，退化测量数据集中的样本包括椭偏光谱和补充光谱； 将所述退化测量数据集中的椭偏光谱和补充光谱输入所述逆向模块，以所述正向模块输出的第二椭偏光谱和第二补充光谱相对于所述退化测量数据集中的椭偏光谱和补充光谱的误差最小为目标，训练所述无损检测模型； 训练所述无损检测模型时的目标为： n*,k*,d*＝argminn,k,d[γ||Fn,k,d-ψ,Δ||2+1-γ||Gn,k,d-R,A||2] 其中，n*、k*、d*分别为最优的n、k、d，n、k、d分别为薄膜的折射率、消光系数、厚度，γ为权重系数，ψ为p光与s光的振幅比，Δ为p光与s光的相位差，ψ和Δ组成椭偏光谱，R为薄膜的反射率，A为薄膜的吸收率，R和A组成补充光谱，F为第一函数，G为第二函数，||||2为欧氏距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学，其通讯地址为：430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。