广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种横移式清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223337879U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421360248.4，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种横移式清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种横移式清洗装置在说明书摘要公布了：本申请半导体衬底材料制造技术领域，具体公开了一种横移式清洗装置，包括：底座、冲水件、衬底盒和驱动件；所述衬底盒沿第一方向可滑动设置于所述底座上；所述冲水件设置于所述衬底盒的上方，用于对所述衬底盒冲水；所述驱动件设置于所述底座上，用于带动所述衬底盒沿所述第一方向往复运动。本方案提供的横移式清洗装置能够在清洗衬底盒上衬底片的过程中，通过驱动件带动衬底盒沿第一方向往复移动，相比于衬底片固定的方式，能够有效提升对衬底片的清洗效果和清洗效率，有效解决现有的衬底片清洗方式清洗效率较低的问题。
本实用新型一种横移式清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种横移式清洗装置，其特征在于，包括：底座10、冲水件20、衬底盒30和驱动件40； 所述衬底盒30沿第一方向可滑动设置于所述底座10上； 所述冲水件20设置于所述衬底盒30的上方，用于对所述衬底盒30冲水； 所述驱动件40设置于所述底座10上，用于带动所述衬底盒30沿所述第一方向往复运动。
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