杭州长川科技股份有限公司邱晨晖获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利晶圆测试箱以及晶圆测试设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223346886U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421300799.1，技术领域涉及：G01R1/02；该实用新型晶圆测试箱以及晶圆测试设备是由邱晨晖;徐开涛;王建玮;胡楠;郭剑飞设计研发完成，并于2024-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测试箱以及晶圆测试设备在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆测试技术领域，提供了一种晶圆测试箱以及晶圆测试设备。该搬运箱体、延伸筒体、测试箱体以及干燥组件：搬运箱体具有搬运腔；延伸筒体连接于搬运箱体，延伸筒体构造有搬运通道和连通于搬运通道的开口，搬运通道与搬运腔连通；测试箱体具有测试腔和连通于测试腔的搬运窗口，测试箱体与延伸筒体相连接，搬运窗口与开口相连通；干燥组件包括第一支路和第二支路，第一支路和第二支路并联设置并均构造有多个间隔布置的出气通道；第一支路安装于搬运腔内，用于向搬运腔通入干燥气体；第二支路安装于测试腔内，用于向测试腔通入干燥气体。该晶圆测试箱用于满足晶圆在低温环境中的测试，并便于控制测试时的露点温度，保证测试安全性。
本实用新型晶圆测试箱以及晶圆测试设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试箱，其特征在于，所述晶圆测试箱包括： 搬运箱体10，具有搬运腔101； 延伸筒体50，连接于所述搬运箱体10，所述延伸筒体50构造有搬运通道501和连通于所述搬运通道501的开口502，且所述搬运通道501与所述搬运腔101连通； 测试箱体20，具有测试腔201和连通于所述测试腔201的搬运窗口202，所述测试箱体20与所述延伸筒体50相连接，且所述搬运窗口202与所述开口502相连通； 干燥组件40，包括第一支路42和第二支路43，所述第一支路42和所述第二支路43并联设置并均构造有多个间隔布置的出气通道401；所述第一支路42安装于所述搬运腔101内，用于向所述搬运腔101通入干燥气体；所述第二支路43安装于所述测试腔201内，用于向所述测试腔201通入干燥气体。
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