买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种球面波曝光干涉场在线调控系统及调控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118409379B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410546263.6，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种球面波曝光干涉场在线调控系统及调控方法是由姜岩秀;张亚楠;王新宇;李文昊;孙雨琦设计研发完成，并于2024-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种球面波曝光干涉场在线调控系统及调控方法在说明书摘要公布了：本申请提供的球面波曝光干涉场在线调控系统及调控方法，入射光经过分束光栅得到两束衍射光，两束衍射光入射到空间滤波器并被扩束为球面波，两束球面波在基准光栅表面形成Moiré条纹。通过微调分束光栅位置改变两衍射光束的相位以实现相移。使用相机拍摄相移得到的Moiré条纹图像，并从图像中提取Moiré条纹相位分布，根据提取的相位信息拟合出刻线分布函数系数。粗略测量记录参数的值作为初值，并进行局部寻优以得到记录参数实际值。根据测量得到的记录参数实际值，通过自动校准空间滤波器的空间位置。经过多次测量及校准使记录参数测量结果接近目标值，实现曝光干涉场在线调控，提升测量精度和效率。

本发明授权一种球面波曝光干涉场在线调控系统及调控方法在权利要求书中公布了：1.一种球面波曝光干涉场在线调控系统，其特征在于，包括激光器（1）、分束光栅（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（4）、第三反射镜（5）、第四反射镜（6）、第一光束位置探测器（713）、第一空间滤波器（714）、第二光束位置探测器（723）、第二空间滤波器（724）、基准光栅（8）、CCD相机（9）及控制器（10）； 所述激光器（1）出射的入射光经过所述分束光栅（2）得到第一衍射光及第二衍射光； 所述第一衍射光依次经过所述第一反射镜（3）、所述第三反射镜（5）后依次进入所述第一光束位置探测器（713）及所述第一空间滤波器（714）； 所述第二衍射光依次经过所述第二反射镜（4）、所述第四反射镜（6）后依次进入所述第二光束位置探测器（723）及所述第二空间滤波器（724）； 分别入射到所述第一空间滤波器（714）和所述第二空间滤波器（724）的两衍射光光束并被扩束为球面波，两束球面波在所述基准光栅（8）表面形成Moiré条纹； 微调所述分束光栅（2）的位置，从而改变两衍射光束的相位以实现相移； 所述CCD相机（9）拍摄相移得到Moiré条纹图像； 所述控制器（10）可根据所述CCD相机（9）拍摄相移得到的Moiré条纹图像，并利用相移算法从所述Moiré条纹图像中提取Moiré条纹相位分布，根据提取的相位信息拟合出刻线分布函数系数；粗略测量记录参数的值作为初值，并利用重建算法进行局部寻优以得到记录参数实际值；其中，两空间滤波器相对光栅基底中心的空间位置分布决定球面波曝光干涉场的相位分布，表示其空间位置的参数称为记录参数；根据测量得到的记录参数实际值，自动校准所述第一空间滤波器（714）和所述第二空间滤波器（724）的空间位置；经过多次测量及校准使记录参数测量结果接近目标值，实现曝光干涉场在线调控； 所述系统还包括旋转模块（7），所述旋转模块（7）包括第一旋转臂（71）、第二旋转臂（72）及转台（73），所述第一旋转臂（71）及所述第二旋转臂（72）能够以所述转台（73）为中心旋转，所述第一旋转臂（71）上安装有第一直线导轨（711）和第一滑块（712），所述第一滑块（712）能够沿所述第一直线导轨（711）滑动，所述第一滑块（712）上还安装有所述第一光束位置探测器（713）和所述第一空间滤波器（714），所述第二旋转臂（72）上安装有第二直线导轨（721）和第二滑块（722），所述第二滑块（722）能够沿所述第二直线导轨（721）滑动，所述第二滑块（722）上还安装有所述第二光束位置探测器（723）和所述第二空间滤波器（724）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。