电子科技大学鲜承伟获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利腔光力振动传感器、测量装置及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118424446B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410513158.2，技术领域涉及：G01H9/00；该发明授权腔光力振动传感器、测量装置及测量方法是由鲜承伟;匡鹏举;黄勇军;李喆;李昕蔚;文光俊设计研发完成，并于2024-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本腔光力振动传感器、测量装置及测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开腔光力振动传感器、测量装置及测量方法；应用于振动测量技术领域，针对现有振动传感器测量精度不高的问题，本发明利用腔光力微光机电系统的光机械耦合原理实现振动状态的光学测量，激光器发出的红外光经单模光纤进入偏振控制器后可得到任意偏振方向的激光，此激光经V型微凹光纤耦合进入真空腔中的腔光力振动传感器光子晶体微腔中，携带光机械耦合信息的微腔出射光经衰减器进入光电探测器。通过频谱仪读取分析硅微机械振子和压电陶瓷振动器的振动信息，通过计算机读取和分析耦合后的光信息。
本发明授权腔光力振动传感器、测量装置及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种腔光力振动传感器，其特征在于，所述腔光力振动传感器包括：硅微机械振子结构、光子晶体微腔结构； 所述硅微机械振子结构，包括：前部固定质量块、可动检测质量块、后部固定质量块；可动检测质量块与前部固定质量块、后部固定质量块通过U型悬臂梁连接；在可动检测质量块前后分别设置榫头结构，以嵌入前部固定质量块、后部固定质量块各自对应位置的卯眼结构，榫头结构与卯眼结构间设置缝隙； 所述光子晶体微腔结构，包括：前部光子晶体微腔结构和后部光子晶体微腔结构，光子晶体微腔结构设置在可动检测质量块与前部固定质量块、后部固定质量块的榫卯结构缝隙处；当可动检测质量块沿y轴振动时，光子晶体微腔结构的腔长会发生连动改变。
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