中山大学赖欣祥获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种单行载流子光电探测器带宽增强方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118335835B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410329076.2，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种单行载流子光电探测器带宽增强方法是由赖欣祥;金运姜设计研发完成，并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单行载流子光电探测器带宽增强方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光电探测器的技术领域，提出一种单行载流子光电探测器带宽增强方法，包括以下步骤：利用光刻胶对UTC‑PD进行一次甩胶和曝光显影的操作，使光刻胶以预设的光刻图案覆盖在整个UTC‑PD的表面，形成第一光刻胶层；进行电极金属沉积，使金属种子层沉积在第一光刻胶层表面；进行二次甩胶和曝光显影的操作，使除N电极以外的金属种子层被光刻胶覆盖，形成第二光刻胶层；进行电镀操作，将UTC‑PD的N电极的高度抬升；利用lift‑off方法，UTC‑PD光刻胶及所述金属种子层中除N电极以外的金属种子层去除；将经lift‑off处理的UTC‑PD与带有电感结构的散热片进行倒装键合，得到带宽增强的UTC‑PD。
本发明授权一种单行载流子光电探测器带宽增强方法在权利要求书中公布了：1.一种单行载流子光电探测器带宽增强方法，其特征在于，包括以下步骤： 利用光刻胶，对UTC-PD进行一次甩胶和曝光显影的操作，使光刻胶以预设的光刻图案覆盖在整个UTC-PD的表面，形成第一光刻胶层； 对包含第一光刻胶层的UTC-PD进行电极金属沉积，使金属种子层沉积在第一光刻胶层表面； 对完成电极金属沉积的UTC-PD进行二次甩胶和曝光显影的操作，使除N电极以外的金属种子层被光刻胶覆盖，形成第二光刻胶层； 对包含两层光刻胶层及金属种子层的UTC-PD进行电镀操作，将UTC-PD的N电极的高度抬升至预设高度； 利用lift-off方法，将完成电极高度抬升的UTC-PD中的光刻胶及所述金属种子层中除N电极以外的金属种子层去除； 将经lift-off处理的UTC-PD与带有电感结构的散热片进行倒装键合，得到带宽增强的UTC-PD。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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