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龙图腾网获悉晶源半导体材料科技(沈阳)有限公司申请的专利一种样品位置转换组件及热丝CVD金刚石设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117737702B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311858847.9，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种样品位置转换组件及热丝CVD金刚石设备是由刘向辉;孔祥鹏;吴煦;吴向方设计研发完成，并于2023-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种样品位置转换组件及热丝CVD金刚石设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种样品位置转换组件及热丝CVD金刚石设备，涉及真空镀膜技术领域，解决各个衬底之间生长的金刚石薄膜的厚度不一致的技术问题，包括公转轴、转台机构和驱动机构，所述公转轴沿z轴方向竖直放置，所述转台机构具有一个可沿水平方向旋转的公转台和多个以所述公转台轴心线为中心环形分布的自转单元，所述公转台能够同时驱动多个所述自转单元以自转的方式围绕所述公转轴公转。本发明多个样品台承载的基片生长镀膜时在围绕公转轴公转的同时又自身进行旋转，使得各个基片的位置进行交替变化的同时也使得自身位置在水平方向进行位置变化，进而使得每个基片上的不同位置的金刚石薄膜生长的更加均匀。

本发明授权一种样品位置转换组件及热丝CVD金刚石设备在权利要求书中公布了：1.一种样品位置转换组件，具有多个呈环形分布的样品台，每个所述样品台具有两个相对设置的承载面和抵接面，所述承载面用于承载基片，其特征在于，还包括： 公转轴，沿z轴方向竖直放置，所述公转轴具有两个相对的第一端和第二端； 转台机构，具有一个可沿水平方向旋转的公转台和多个以所述公转台轴心线为中心环形分布的自转单元，所述公转台具有两个相对的第一端面和第二端面，所述公转轴的第一端与所述第二端面的轴心处同步转动连接，所述自转单元用于承载所述样品台，所述公转台能够同时驱动多个所述自转单元以自转的方式围绕所述公转轴公转； 驱动机构，其用于驱动上述公转轴旋转； 周期转换机构，所述周期转换机构包括传动单元和拨动单元； 所述传动单元包括一个沿水平方向旋转的槽轮，所述槽轮的轴心处与所述公转轴的第二端同步转动连接，沿所述槽轮的圆周方向等角开设多个径向槽； 所述拨动单元具有一个可沿水平方向旋转的曲柄以及安装在所述曲柄其中一个端部的圆柱销，所述曲柄的另一个端部安装有主动轴，所述主动轴沿z轴方向竖直设置，所述主动轴远离所述曲柄的一端与所述驱动机构的驱动端同步转动连接； 所述主动轴驱动所述曲柄沿着所述主动轴的轴线旋转，以使所述曲柄端部的圆柱销脱离或进入所述径向槽； 沿所述槽轮的圆周方向设置有与径向槽数量相等的弧形锁止槽，且与所述径向槽交错设置； 所述曲柄远离所述圆柱销的一端安装有与弧形锁止槽配合的主动拨盘或弧形摆动板； 所述圆柱销进入径向槽时，所述槽轮的弧形锁止槽与主动拨盘或弧形摆动板分离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人晶源半导体材料科技(沈阳)有限公司，其通讯地址为：110000 辽宁省沈阳市大东区滂江街22号长峰中心45-82室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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