合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)徐伟获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)申请的专利一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117364024B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311335657.9，技术领域涉及：C23C14/14；该发明授权一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统是由徐伟;冯子楠;孟献才;王纪超;钱玉忠;梁立振;胡纯栋设计研发完成，并于2023-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统，涉及紧凑型氘氘加速器中子源在中子测量及辐照中应用的技术领域，利用高真空抽气机组对薄膜制备腔室和薄膜吸气腔室进行真空抽气，实现两腔室10‑5Pa量级高真空获得；随后在薄膜制备腔室内利用磁控溅射镀膜技术制备微米级高纯钛薄膜；完成钛薄膜制备之后利用磁力杆传动装置将钛薄膜样品在高真空环境中送入薄膜吸气腔室，并在高真空环境下对钛薄膜样品进行加热升温；随后利用插板阀隔离装置将薄膜吸气腔室与薄膜制备腔室隔断，向薄膜吸气腔室内充入高纯高压气体，最终实现钛薄膜避免氧化条件下进行高温高压气体吸附。本发明降低金属薄膜表面氧化层对气体吸附量的影响。
本发明授权一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统在权利要求书中公布了：1.一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统，其特征在于：包括薄膜制备腔室、薄膜吸气腔室、插板阀隔离装置、磁力杆传动装置、高温加热台、高真空抽气机组；所述的薄膜制备腔室包括磁控溅射源、等离子体清洗源和第二样品台，实现微米级钛薄膜制备；所述的薄膜吸气腔室与薄膜制备腔室相连，包括一个氘气充气口、一个氘气放气口和第一样品台；所述的插板阀隔离装置位于薄膜制备腔室和薄膜吸气腔室中间，用于将薄膜制备腔室和薄膜吸气腔室进行真空隔断；所述磁力杆传动装置位于薄膜制备腔室右侧，用于将制备好的钛薄膜在高真空环境下传送至薄膜吸气腔室；所述的高温加热台为薄膜吸气腔室的第一样品台进行高温加热；所述的高真空抽气机组与薄膜制备腔室直接相连，为薄膜制备腔室和薄膜吸气腔室提供高真空环境。
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