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龙图腾网获悉光科芯图(北京)科技有限公司申请的专利基于平面波的照明系统及曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119717400B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311264856.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基于平面波的照明系统及曝光设备是由傅俊隆;牛志元;丛敏;秦宏鹏;姜言明;黄征设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于平面波的照明系统及曝光设备在说明书摘要公布了：本发明涉及全息光刻系统技术领域，公开了一种基于平面波的照明系统及曝光设备，包括：沿光轴方向依次设置的第一透镜组和第二透镜组；所述第一透镜组用于将光源输出的激光进行扩束；所述第二透镜组用于将扩束后的激光进行准直，并向全息掩模版方向输出平面波激光；所述第一透镜组和所述第二透镜组的距离为所述第一透镜组的有效焦距和所述第二透镜组的有效焦距之和。通过第一透镜组对光束进行扩束，而后第二透镜组对光束进行准直，采用透镜组的形式，可以减小照明系统的波像差，从而提高光刻分辨率，并且相比传统投影光刻的照明系统以及基于球面波的全息掩模照明系统可以减少使用的透镜的数量，降低制造成本。

本发明授权基于平面波的照明系统及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种基于平面波的照明系统，应用于全息光刻，其特征在于，包括： 沿光轴方向依次设置的第一透镜组和第二透镜组； 所述第一透镜组用于将光源输出的激光进行扩束； 所述第二透镜组用于将扩束后的激光进行准直，并向全息掩模版方向输出平面波激光； 所述第一透镜组和所述第二透镜组的距离为所述第一透镜组的有效焦距和所述第二透镜组的有效焦距之和； 所述第一透镜组包括沿光轴方向依次设置的第一负透镜1、第二负透镜2和第三负透镜3； 所述第一负透镜1的进光面具有负曲率半径，用于接收光源输出的激光并进行第一次扩束，所述第一负透镜1的出光面为平面，用于保持激光扩束的光迹； 所述第二负透镜2的进光面具有负曲率半径，用于对经所述第一负透镜1入射的激光进行第二次扩束，所述第二负透镜2的出光面为平面，用于保持激光扩束的光迹； 所述第三负透镜3的进光面具有负曲率半径，用于对经所述第二负透镜2入射的激光进行第三次扩束，所述第三负透镜3的出光面为平面，用于保持激光扩束的光迹； 所述第二透镜组包括沿光轴方向依次设置的第一弯月透镜4、第二弯月透镜5和第一正透镜6； 所述第一弯月透镜4的进光面和出光面均具有负曲率半径，所述第一弯月透镜4用于对经所述第一透镜组入射的激光进行第一次准直； 所述第二弯月透镜5的进光面和出光面均具有负曲率半径，所述第二弯月透镜5用于对经所述第一弯月透镜4入射的激光进行第二次准直； 所述第一正透镜6的进光面为曲率半径为无穷大的平面，出光面具有负曲率半径，所述第一正透镜6用于对经所述第二弯月透镜5入射的激光进行第三次准直；所述第一透镜组和所述第二透镜组满足： 其中，f′1为所述第一透镜组的有效焦距，f2为所述第二透镜组的有效焦距，M为照明系统的放大倍率； 所述第一负透镜1、所述第二负透镜2和所述第三负透镜3之间满足： |r11|＝|r21|＝|r31|，且|r12|＝|r22|＝|r32|； 其中，r11和r12分别为所述第一负透镜1的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，r21和r22分别为所述第二负透镜2的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，r31和r32分别为所述第三负透镜3的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径； 所述第一负透镜1和所述第二负透镜2之间的间距D12以及所述第二负透镜2和所述第三负透镜3之间的间距D23满足：D12＜D23； 所述第一透镜组有效焦距f′1满足： 其中，F′12为所述第一负透镜1和所述第二负透镜2的组合焦距，f′13为所述第三负透镜3的有效焦距，D23为所述第二负透镜2和所述第三负透镜3的间距； 其中，所述第一负透镜1和所述第二负透镜2的组合焦距F′12满足： 式中，f′11为所述第一负透镜1的有效焦距，f′12为所述第二负透镜2的有效焦距，D12为所述第一负透镜1和所述第二负透镜2的间距； 所述第一负透镜1的有效焦距f′11、所述第二负透镜2的有效焦距f′12和所述第三负透镜3的有效焦距f′13满足： 其中，n为透镜材料折射率，r11和r12分别为所述第一负透镜1的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，d11为所述第一负透镜1的厚度，r21和r22分别为所述第二负透镜2的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，d12为所述第二负透镜2的厚度，r31和r32分别为所述第三负透镜3的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，d13为所述第三负透镜3的厚度； 所述第一弯月透镜4、所述第二弯月透镜5和所述第一正透镜6之间满足： |r61|＞|r51|＞|r41|，且|r62|＞|r52|＞|r42|； 其中，r41和r42分别为所述第一弯月透镜4的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，r51和r52分别为所述第二弯月透镜5的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，r61和r62分别为所述第一正透镜6的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径； 所述第一弯月透镜4和所述第二弯月透镜5之间的间距D45满足：15mm＜D45＜16mm； 所述第二弯月透镜5和所述第一正透镜6之间的间距D56满足：15mm＜D56＜16mm； 所述第二透镜组的有效焦距f2满足： 其中，F′45为所述第一弯月透镜4和所述第二弯月透镜5的组合焦距，f′23为所述第一正透镜6的有效焦距，D56为所述第二弯月透镜5和所述第一正透镜6的间距； 所述第一弯月透镜4和所述第二弯月透镜5的组合焦距F′45满足： 其中，f′21为所述第一弯月透镜4的有效焦距，f′22为所述第二弯月透镜5的有效焦距，D45为所述第一弯月透镜4和所述第二弯月透镜5的间距； 所述第一弯月透镜4的有效焦距f′21、所述第二弯月透镜5的有效焦距f′22和所述第一正透镜6的有效焦距f′23满足： 其中，r41和r42分别为所述第一弯月透镜4的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，d21为所述第一弯月透镜4的厚度，r51和r52分别为所述第二弯月透镜5的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，d22为所述第二弯月透镜5的厚度，r61和r62分别为所述第一正透镜6的进光面的曲率半径和出光面的曲率半径，d23为所述第一正透镜6的厚度；第一负透镜1、第二负透镜2、第三负透镜3、第一弯月透镜4、第二弯月透镜5和第一正透镜6均采用球面镜；所述照明系统还包括补偿机构，所述补偿机构和所述第三负透镜3连接，所述补偿机构用于驱动所述第三负透镜3在所述第二负透镜2和所述第二透镜组之间沿光轴移动，所述第三负透镜3的移动范围Δl参照所述第三负透镜3的起始位满足：－1.0mm≤Δl≤+1.0mm。

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