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龙图腾网获悉苏州晟成光伏设备有限公司申请的专利一种连续线磁控溅射设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117305786B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311241354.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种连续线磁控溅射设备是由杨本伟;周文彬;杨星;李伟设计研发完成，并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种连续线磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种连续线磁控溅射设备，包括设备本体和立式托盘，所述立式托盘竖直固定基板，设备本体包括呈竖直细缝结构的腔体、控制立式托盘穿过腔体的传送单元，立式托盘包括框架和行走部，行走部包括位于两侧的多对行走轮以及排布于底部的若干磁板，传送单元包括一对穿过腔体下部的无缝滑轨、在两个无缝滑轨之间沿输送方向设置的若干线圈和将线圈与所述腔体隔开的透磁盒体，透磁盒体中穿过设置有为线圈降温的冷却单元。立式托盘在重力和磁力的共同作用下会牢牢贴在无缝滑轨上，立式托盘在移动的时候就不会有剧烈的上下抖动，确保了溅镀质量；提供立式托盘的移动动力的是电磁感应产生的电磁感应力，不用担心打滑问题，有利于提升溅镀的加工效率。

本发明授权一种连续线磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种连续线磁控溅射设备，用来立式输送并溅镀基板，包括设备本体和立式托盘，所述立式托盘竖直固定基板，所述设备本体包括呈竖直细缝结构的腔体、位于所述腔体下部且控制所述立式托盘穿过腔体的传送单元、为所述腔体抽真空的真空单元、分设于所述腔体两侧的加热单元和阴极，其特征在于：所述传送单元包括一对穿过所述腔体下部的无缝滑轨、在两个无缝滑轨之间沿输送方向设置的若干线圈和将所述线圈与所述腔体隔开的透磁盒体，所述立式托盘包括框架和位于所述框架底部的行走部，所述行走部包括条形的支撑底座、位于所述支撑底座两侧的多对行走轮以及直线排布于所述支撑底座底部的若干磁板，所述磁板与所述线圈位置相对，所述透磁盒体中穿过设置有为所述线圈降温的冷却单元，所述行走轮在所述无缝滑轨上行走；所述框架的顶部设有引导条，所述设备本体还包括设于所述腔体上部的引导单元，所述引导单元包括相对设置的第一挡条和第二挡条，所述引导条在所述第一挡条和所述第二挡条之间移动；所述第一挡条和所述第二挡条的出入侧往两边张开；所述引导条为两极位于其长度方向两侧的磁条，所述第一挡条和所述第二挡条分别连接磁铁的两极，所述第一挡条和所述第二挡条的磁极与所述引导条的两极同极相对。

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