陕西晨盛宏远新材料有限公司张怀龙获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西晨盛宏远新材料有限公司申请的专利一种三明治结构钨钼合金靶材的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117107200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311098764.4,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种三明治结构钨钼合金靶材的制造方法是由张怀龙;朱哲设计研发完成,并于2023-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三明治结构钨钼合金靶材的制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种三明治结构钨钼合金靶材的制造方法,属于钨钼合金靶材制造技术领域,具体包括以下步骤:S1、将钼合金粉放入特定的模具中压坯成型为凹型坯块,然后再将坯块放入另外一个压型模具中,在凹槽内装入钨合金粉,并在钨粉上面覆盖一层钼粉层后压实。本发明提供的一种三明治结构钨钼合金靶材的制造方法,在三明治结构状下,钨合金周围为钼合金,材料在烧结致密化过程中,钼合金收缩较钨合金快,烧结过程在钼紧贴钨合金收缩,使得两者结合强度大大提高,同时界面不会出现裂纹,三明治结构材料在锻造过程中由于钨合金周围被钼合金包裹,钨钼合金的这种“三明治”结构可以解决烧结和锻造过程中的界面开裂和断裂的问题,大大提高了靶材的质量和成品率。
本发明授权一种三明治结构钨钼合金靶材的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种三明治结构钨钼合金靶材的制造方法,其特征在于,具体包括以下步骤: S1、将钼合金粉放入特定的模具中压坯成型为凹型坯块,压坯压力为150MPa; S2、将凹型坯块装入另一个压型模具中,在凹型钼合金坯块中装入钨合金粉,在钨合金粉的表面装入钼合金粉,在一定压力作用下压实成型为坯块,坯块为三明治结构状,其压实压力为100MPa; S3、将三明治结构状的坯块取出,并在一定时间内对其进行高温烧结,控制烧结温度在1800℃-2300℃,烧结时间为8-24h,其中2300℃为纯钨和纯钼的“三明治”结构靶材烧结温度,1800-2300℃为不同合金成分的烧结温度区间; S4、对三明治结构状的坯块进行精密锻造; S5、对三明治结构状的坯块进行机械加工,调整靶材钨合金和钼合金的界面平行度。
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