天津绿菱气体有限公司董玉成获国家专利权
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龙图腾网获悉天津绿菱气体有限公司申请的专利二烷基氨基金属配合物、三胍基金属配合物的制备方法及装置系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116986991B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310819684.7,技术领域涉及:C07C209/00;该发明授权二烷基氨基金属配合物、三胍基金属配合物的制备方法及装置系统是由董玉成;赵沙沙;陈建永设计研发完成,并于2023-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本二烷基氨基金属配合物、三胍基金属配合物的制备方法及装置系统在说明书摘要公布了:本发明涉及一种二烷基氨基金属配合物、三胍基金属配合物的制备方法及装置系统,本发明提供的制备方法结合对反应条件的调节与控制,促进有利产物生成的反应进行,减少了副反应的发生,避免了使用正丁基锂引入金属杂质的缺陷,也避免了产生锂盐等不便于后续分离的组分,方便了产物的纯化;而且,本发明制备得到的二烷基氨基金属配合物以及三胍基金属配合物满足集成电路制造中对前驱体材料的纯度要求。
本发明授权二烷基氨基金属配合物、三胍基金属配合物的制备方法及装置系统在权利要求书中公布了:1.一种二烷基氨基金属配合物的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤: 保护气氛条件下,在惰性溶剂中卤化物MX3与过量的三甲基硅基二烷基胺Me3SiNR1R2反应得到二烷基氨基金属配合物MNR1R23溶液,反应式如下: MX3+Me3SiNR1R2→MNR1R23+Me3SiX; 所述三甲基硅基二烷基胺Me3SiNR1R2与卤化物MX3的投料摩尔比为3:1至9:1;所述卤化物MX3与惰性溶剂的投料质量比为1:4至1:40;所述惰性溶剂包括不参与反应的烃类溶剂;所述惰性溶剂为沸点60℃至150℃的烃类溶剂;所述反应的温度为0℃至150℃; 所述M为镧系元素和或钇; 所述X为卤素; 所述R1与R2分别独立地为甲基和或乙基,所述N为氨基氮,所述Me为甲基。
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