中国科学院宁波材料技术与工程研究所李镇涛获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请的专利一种Ag/Au纳米颗粒的制备方法与MIM结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116275015B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310422007.1,技术领域涉及:B22F1/054;该发明授权一种Ag/Au纳米颗粒的制备方法与MIM结构是由李镇涛;陈国新;卢焕明;贾广俊;张蕾设计研发完成,并于2023-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Ag/Au纳米颗粒的制备方法与MIM结构在说明书摘要公布了:本发明提供一种AgAu纳米颗粒的制备方法与MIM结构。金、银分别作为第一、二靶材,采用离子溅射技术,在具有化学惰性的绝缘材料构成的基体表面首先溅射第一靶材然后溅射二靶材,或者,首先溅射第二靶材然后溅射第一靶材,金纳米颗粒与银纳米颗粒均匀分散在基体表面;然后对基体进行电子束辐照,控制电子束的束流密度在量级,辐照时间为1~30分钟,得到银纳米颗粒合并、融合或者包覆金纳米颗粒的AgAu纳米颗粒。该方法简单易行,利用该方法得到AgAu纳米颗粒‑基体‑AgAu纳米颗粒的MIM结构。
本发明授权一种Ag/Au纳米颗粒的制备方法与MIM结构在权利要求书中公布了:1.一种MIM结构,其特征是:采用具有化学惰性的绝缘材料作为基体的构成材料;所述MIM结构的制备方法包括如下步骤: (1)采用表面平整的衬底;在衬底表面制备基体层,方法是:将基体材料粉末均匀分散在第一溶剂中,得到第一分散液;将第一分散液铺展在衬底表面,第一溶剂挥发,得到位于衬底表面的基体层; 基体层中,与衬底表面相连接的表面记作下表面,与下表面相对的表面记作上表面; 所述基体的构成材料是云母、B4C、六方氮化硼(h-BN)中的一种或者几种;所述基体的构成材料的结构是纳米管状结构; (2)首先,金作为第一靶材,银作为第二靶材,采用离子溅射技术,在基体层的上表面首先溅射第一靶材然后溅射第二靶材,或者,在基体层的上表面首先溅射第二靶材然后溅射第一靶材,金纳米颗粒与银纳米颗粒均匀沉积在基体层的上表面; 然后,将基体层从衬底表面剥离、翻面,使基体层的下表面朝上,采用离子溅射技术,在基体层的下表面首先溅射第一靶材然后溅射第二靶材,或者,在基体层的下表面首先溅射第二靶材然后溅射第一靶材,金纳米颗粒与银纳米颗粒均匀沉积在基体层的下表面; 接着,将上下表面沉积金纳米颗粒与银纳米颗粒的基体层从衬底表面剥离; (3)将步骤(2)处理后的基体层溶于第三溶剂中,并均匀分散,得到第三分散液,将第三分散液滴加在微栅膜,干燥后进行电子束辐照,控制电子束的束流密度为1×104eÅ2·s~2×105eÅ2·s,辐照时间为30秒~30分钟,基体上下表面得到银纳米颗粒合并、融合或者包覆金纳米颗粒的AgAu纳米颗粒,形成AgAu纳米颗粒-基体-AgAu纳米颗粒的MIM结构;所述第三溶剂包括二甲基甲酰胺。
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