北京凯世通半导体有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司翟军明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京凯世通半导体有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司申请的专利一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313964B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310421549.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具是由翟军明;李朋涛;杨光亮;陆天;闫磊;孙玉中;黄才钧;张长勇设计研发完成，并于2023-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具在说明书摘要公布了：本发明提供一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，所述适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具包括透明材质治具、晶圆定位治具和片匣治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明材质治具用于夹持晶圆，片匣治具用于定位晶圆在片匣内的中心位置和红外传感器位置。本发明可以大幅提高操作人员在示教不同位置时的示教精度，还可以很大程度上节省示教时间。本发明除了可以进行机械手臂的位置示教之外，还可以定位晶圆在片匣里面的中心位置，以及4个红外传感器光线距离片匣内晶圆的距离，极大提升了机械手臂的示教效率。
本发明授权一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具在权利要求书中公布了：1.一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具，其特征在于，其经过适配晶圆的有效改善，以此保证机械手臂示教位置的精度，满足半导体设备运行需求；所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具包括透明晶圆治具、晶圆定位治具和片匣治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，片匣治具用于定位晶圆在片匣内的中心位置和红外传感器位置； 片匣治具内圆与晶圆的形状类似，其为正圆形状的平板型，其内圆弧直径300mm，弧度136°；外圆与片匣内每层的台阶相夹持，从而固定片匣治具使之不能移动，其外圆弧直径308.5mm，弧度224°；片匣周边有四只耳朵，每只耳朵上有1mm宽的狭缝，使红外光线穿过该狭缝，用来定位红外传感器位置，狭缝距离片匣治具中心点153.5mm。
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