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龙图腾网获悉华芯智能(珠海)科技有限公司申请的专利一种面内扭摆式四质量块MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116124110B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310157440.7，技术领域涉及：G01C19/5656；该发明授权一种面内扭摆式四质量块MEMS陀螺仪是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种面内扭摆式四质量块MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了：本发明公开了一种面内扭摆式四质量块MEMS陀螺仪，包括：衬底层和器件层结构，所述器件层结构包括驱动双端固支梁、驱动框架、哥氏质量块、驱动耦合固支梁、驱动耦合折叠梁、检测双端固支梁、检测框架、检测桁架、检测耦合梁以及检测框架支点；所述器件层结构还包括推挽式驱动力系统、驱动端差分检测输出信号系统、差分检测输出信号系统以及检测输出闭环控制信号系统。本发明通过面内四质量块扭摆式全差分架构，形成了MEMS陀螺仪整体结构全差分准三维运动，面内任意比例叠加方向在任意时刻的运动总惯量始终为零，实现了MEMS陀螺仪对周围环境的全方位隔振解耦，达到全面有效的抑制温度、环境冲击、振动等典型干扰对陀螺仪精度的影响。

本发明授权一种面内扭摆式四质量块MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种面内扭摆式四质量块MEMS陀螺仪，其特征在于：包括： 衬底层1； 器件层结构，通过相应锚点固定在所述衬底层1上； 所述器件层结构包括： 驱动双端固支梁3、驱动框架4、哥氏质量块15、驱动耦合固支梁5、驱动耦合折叠梁20、检测双端固支梁6、检测框架16、检测桁架19、检测耦合梁17以及检测框架支点18； 所述驱动双端固支梁3的一端与锚点2连接并固定于所述衬底层1，另一端与所述驱动框架4相连，所述检测双端固支梁6一端与所述驱动框架4相连，另一端与所述哥氏质量块15相连，所述驱动耦合固支梁5一端与所述哥氏质量块15相连，另一端与所述检测桁架19相连，所述检测桁架19另一端与所述检测框架16相连； 所述检测耦合梁17的两端分别与其左右的所述检测框架16相连，用于使检测框架16模态分离，所述检测框架支点18一端与所述检测框架16相连，另一端与锚点结构连接，所述驱动耦合折叠梁20的两端分别与其左右的所述驱动框架4相连，以保证工作时相连的两所述驱动框架4运动同向； 所述驱动框架4与所述哥氏质量块15一起构成驱动环路质量，且结构关于Y轴对称，所述检测框架16与所述哥氏质量块15一起构成检测环路质量，且结构关于X轴对称，同时整个MEMS陀螺仪结构为全解耦设计； 所述器件层结构还包括： 推挽式驱动力系统、驱动端差分检测输出信号系统、差分检测输出信号系统以及检测输出闭环控制信号系统； 所述推挽式驱动力系统为MEMS陀螺仪提供推挽式驱动力，所述驱动端差分检测输出信号系统为MEMS陀螺仪驱动端提供差分检测输出信号，所述差分检测输出信号系统为MEMS陀螺仪提供差分检测输出信号，所述检测输出闭环控制信号系统为MEMS陀螺仪提供检测输出闭环控制信号。

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