季华实验室张南获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种用于外延设备的温场调节装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310111879.6，技术领域涉及：C30B25/16；该发明授权一种用于外延设备的温场调节装置及系统是由张南;郭嘉杰;黄吉裕;刘自然;罗骞设计研发完成，并于2023-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于外延设备的温场调节装置及系统在说明书摘要公布了：本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种用于外延设备的温场调节装置及系统，该装置包括：混合气体提供组件，用于提供混合气体；气体分流组件，其进气端与混合气体提供组件连接，其出气端通过一条主路气体气路和两条旁路气体气路与反应室的进气端连接，主路气体气路位于两条旁路气体气路之间，气体分流组件用于根据预设流量比将混合气体分流送入主路气体气路和两路旁路气体气路；气体温度调节组件，设置在主路气体气路和或旁路气体气路上，用于调节主路气体气路和或旁路气体气路内气体的温度；该装置能够在提高反应室内的温场均匀性的前提下有效地降低设计难度以及生产成本和提高反应室内的温场的可调性。
本发明授权一种用于外延设备的温场调节装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于外延设备的温场调节装置，用于调节外延设备的温场，所述外延设备包括反应室，其特征在于，所述用于外延设备的温场调节装置包括： 混合气体提供组件，用于提供混合气体； 气体分流组件，其进气端与所述混合气体提供组件连接，其出气端通过一条主路气体气路和两条旁路气体气路与所述反应室的进气端连接，所述主路气体气路位于所述两条旁路气体气路之间，所述气体分流组件用于根据预设流量比将所述混合气体分流送入所述主路气体气路和所述旁路气体气路； 气体温度调节组件，设置在所述主路气体气路和或所述旁路气体气路上，用于调节所述主路气体气路和或旁路气体气路内气体的温度; 两个隔板，设置在所述反应室的进气端，以将所述反应室的进气端划分为一个主路气体进气端和两个旁路气体进气端，所述主路气体进气端位于所述两个旁路气体进气端之间，所述主路气体气路与所述主路气体进气端连接，所述旁路气体气路与所述旁路气体进气端连接。
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