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龙图腾网获悉上海芯谦集成电路有限公司申请的专利一种具有透气孔的抛光垫获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116276633B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310110209.2，技术领域涉及：B24B37/26；该发明授权一种具有透气孔的抛光垫是由杨波;张莉娟设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有透气孔的抛光垫在说明书摘要公布了：本发明涉及一种具有透气孔的抛光垫，抛光垫上设有抛光面，抛光面上设有外围区域和中心区域，中心区域设于抛光垫的中心，外围区域围绕中心区域设置；外围区域设有透气孔和射线沟槽，多个透气孔分布于整个外围区域，多个射线沟槽绕抛光垫的圆心呈放射状设置。与现有技术相比，本发明中透气孔可以通过存储部分抛光液辅助射线沟槽提高抛光效果，射线沟槽可以通过促进抛光液循环辅助透气孔提高散热效果。因此抛光垫上同时设置射线沟槽和透气孔既提高了抛光垫的散热效果，又提高了抛光垫的抛光质量。

本发明授权一种具有透气孔的抛光垫在权利要求书中公布了：1.一种具有透气孔的抛光垫，其特征在于，所述抛光垫（100）上设有抛光面，所述抛光面上设有中心区域（13）和外围区域（14），所述中心区域（13）设于所述抛光垫（100）的中心，所述外围区域（14）围绕所述中心区域（13）设置； 所述外围区域（14）设有透气孔（11）和射线沟槽（12），多个所述透气孔（11）分布于整个所述外围区域（14），多个所述射线沟槽（12）绕所述抛光垫（100）的圆心呈放射状设置； 其中，所述中心区域（13）为圆形区域，所述圆形区域大小与所述射线沟槽（12）的数量呈正相关设置，以通过适度增加所述圆形区域大小，增加围绕所述圆形区域的所述射线沟槽（12）的数量，实现提高所述抛光垫的强度同时，提高散热效果和抛光质量；所述中心区域（13）的边缘设有环状沟槽（15），所述环状沟槽（15）分别与多个所述射线沟槽（12）连通；所述环状沟槽（15）有且仅有一个； 所述中心区域（13）的直径满足：0.01D1≤D2≤0.1D1，其中D1为抛光面的直径，D2为中心区域（13）的直径；所述抛光垫（100）的直径为500mm～900mm； 所述射线沟槽（12）的设置数量满足：A≤δπD2d1，其中A为所述射线沟槽（12）的数量，d1为所述射线沟槽（12）的宽度，δ满足：0.6≤δ≤0.8； 所述射线沟槽（12）的宽度满足：1mm≤d1≤10mm； 所述射线沟槽（12）为直线型沟槽，且相邻两个直线型沟槽之间在中心区域（13）边缘上的距离与常数δ呈负相关，来选定常数δ的取值，以获取所述直线型沟槽的数量A。

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