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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)申请的专利一种面内二维定位平台的位移反馈控制系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115993795B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310061747.7，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权一种面内二维定位平台的位移反馈控制系统及方法是由薛高鹏;钱虹霖;王增义;李兵设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种面内二维定位平台的位移反馈控制系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种面内二维定位平台的位移反馈控制系统及方法，第一梳齿单元和第二梳齿单元分别包括两组相同且对称设置的梳齿组，面内二维定位平台还包括第一参考电容和第二参考电容，位移反馈控制系统将第一梳齿单元或第二梳齿单元中的其中一组梳齿组作为驱动端，另一组梳齿组作为感测端，在对驱动端施加驱动电压信号后，得到感测端的电流信号和对应的第一参考电容或第二参考电容的参考电流信号，并根据电流信号和参考电流信号得到电流变化量，然后根据电流变化量计算得到感测端所产生的实际位移，再根据实际位移与预期位移的偏差信号更新驱动电压信号。本发明在不增加位移感测结构的前提下，实现了高精度定位功能。

本发明授权一种面内二维定位平台的位移反馈控制系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种面内二维定位平台的位移反馈控制系统，所述面内二维定位平台包括外框、内框、位移台、第一弹性单元、第二弹性单元、第一梳齿单元和第二梳齿单元，其中所述外框通过第一弹性单元对所述内框进行支撑以使得所述外框能够对所述内框沿第一方向进行驱动，所述内框通过第二弹性单元对所述位移台进行支撑以使得所述内框能够对所述位移台沿第二方向进行驱动，所述第一梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述外框上，所述第一梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述位移台上，所述第一方向与所述第二方向相互垂直；其特征在于： 所述第一梳齿单元和所述第二梳齿单元分别包括两组相同且对称设置的梳齿组，所述面内二维定位平台还包括第一参考电容和第二参考电容，所述第一参考电容的容值等于所述第一梳齿单元中的任意一组梳齿组之间的初始容值，所述第二参考电容的容值等于所述第二梳齿单元中的任意一组梳齿组之间的初始容值，所述位移反馈控制系统将所述第一梳齿单元或所述第二梳齿单元中的其中一组梳齿组作为驱动端，另一组梳齿组作为感测端，在对所述驱动端施加驱动电压信号后，得到所述感测端的电流信号和对应的所述第一参考电容或所述第二参考电容的参考电流信号，并根据所述电流信号和所述参考电流信号得到电流变化量，然后根据所述电流变化量计算得到所述感测端所产生的实际位移，再根据所述实际位移与预期位移的偏差信号更新所述驱动电压信号； 其中，所述根据所述电流变化量计算得到所述感测端所产生的实际位移包括： 感测电路将感测到所述第一参考电容对应的参考电流信号与所述第一梳齿单元中的另一组作为所述感测端的梳齿组的电流信号作差并按比例放大得到放大信号，再所述放大信号发送给锁相放大器；所述锁相放大器根据所述放大信号得到无干扰电压信号，且接收到接地电极的参考信号，再将所述无干扰电压信号和所述参考信号同时发送给反馈控制模块；所述反馈控制模块根据所述无干扰电压信号与所述参考信号得到所述第一梳齿单元中的任意一组梳齿组的实际位移；具体地，向面内二维定位平台的接地电极施加射频信号Vpp＝A0sinωt，式中，A0是所施加射频的幅值，ω为射频角频率，t为时间常数；所述感测电路感测到的所述第一参考电容对应的参考电流信号i11为：i11＝A0ωC1cosωt，式中，C1为所述第一参考电容的电容值；所述感测电路感测到的所述第一梳齿单元中的另一组梳齿组的电流信号i12为：i12＝A0ωC1+ΔC1cosωt，式中，ΔC1为所述第一梳齿单元中的任意一组梳齿组的运动梳齿与固定梳齿之间的电容变化量；通过所述感测电路把电流信号转换成电压信号，通过所述锁相放大器进行锁相输出感测位移信号，实现运动位移量与感测电压值的对应关系；具体地，所述反馈控制模块根据电容变化量与位移的对应关系式ΔC1＝2Naε0haΔxg来计算得到所述第一梳齿单元中的任意一组梳齿组的实际位移Δx，式中，Na为所述第一梳齿单元中的任意一组梳齿组的梳齿对数，ε0为空气介电常数，ha为梳齿厚度，g为梳齿间隙。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学(深圳)，其通讯地址为：518000 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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