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重庆金美新材料科技有限公司臧世伟获国家专利权

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龙图腾网获悉重庆金美新材料科技有限公司申请的专利一种耐高温容器清洁装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116037587B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310014100.9,技术领域涉及:B08B9/08;该发明授权一种耐高温容器清洁装置及方法是由臧世伟设计研发完成,并于2023-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种耐高温容器清洁装置及方法在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种耐高温容器清洁装置及方法,该耐高温容器清洁装置包括真空腔体,所述真空腔体的第一侧设置有用于对真空腔体抽真空的抽真空系统;坩埚加热控制装置,设于所述真空腔体内,且用于加热设置在其所述坩埚加热控制装置内部的坩埚;还原气体供给系统,设于所述真空腔体第二侧,且用于对真空腔体内的坩埚提供还原气体,通过形成高温环境及不同的坩埚开口方向,且在热态还原性气体的作用下彻底清洁坩埚,得到可以继续正常使用的坩埚部件,解决坩埚使用寿命,蒸发效率及镀膜质量改善的问题。

本发明授权一种耐高温容器清洁装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种耐高温容器清洁装置,其特征在于,包括: 真空腔体(1),所述真空腔体(1)的第一侧设置有用于对真空腔体(1)抽真空的抽真空系统(2); 坩埚加热控制装置(3),设于所述真空腔体(1)内,用于加热设置在所述坩埚加热控制装置(3)内部的坩埚(11),并且在加热过程中控制所述坩埚(11)的开口朝下; 还原气体供给系统(4),设于所述真空腔体(1)第二侧,用于对真空腔体(1)内的坩埚(11)提供还原气体;所述真空腔体(1)内设置有用于接收和排出所述坩埚(11)的残余物的储存仓(12),且所述储存仓(12)设置在所述坩埚(11)下方; 所述耐高温容器清洁装置,还包括:温度传感器,用于检测当前的加热温度;坩埚加热控制装置(3)还用于当所述加热温度小于第一温度阈值时控制耐高温容器以开口朝下或者向下倾斜的姿态进行加热;当所述加热温度达到第一温度阈值时,控制所述耐高温容器以开口朝上或者向上倾斜的姿态进行加热;当所述加热温度达到第二温度阈值时,停止加热;其中,所述第二温度阈值大于所述第一温度阈值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人重庆金美新材料科技有限公司,其通讯地址为:401420 重庆市綦江区古南街道桥河工业园区金福二路12号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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