西安中科微精光子科技股份有限公司候荣辉获国家专利权
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龙图腾网获悉西安中科微精光子科技股份有限公司申请的专利一种动态调节激光焦点位置的系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116117303B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211716287.9,技术领域涉及:B23K26/046;该发明授权一种动态调节激光焦点位置的系统及方法是由候荣辉;李朋;田东坡;张新华;郝帅;麻丁龙;路钧天设计研发完成,并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种动态调节激光焦点位置的系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种动态调节激光焦点位置的系统及方法,该系统包括:制孔系统、相干成像诊断系统、微动进给模块和控制系统,相干成像诊断系统包括成像光源、分束器、参考光路、取样光路和光谱系统。该系统利用参考光路形成第一耦合光束,通过取样光路形成第二耦合光束,利用第一耦合光束和第二耦合光束形成相干光束,根据相干光束的波峰数和相邻条纹间距控制微动进给模块的移动距离,可以根据实际情况准确的控制焦点离样品表面之间距离,能实时调节聚焦镜位置使光束聚焦后一直处于焦点处加工,加工出的孔孔径一致性具有保障性,实现激光焦点位置的实时动态调节,调节精度高,保证了加工质量和效率。
本发明授权一种动态调节激光焦点位置的系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种动态调节激光焦点位置的系统,其特征在于,包括:制孔系统1、相干成像诊断系统2、微动进给模块3和控制系统4,所述相干成像诊断系统2包括成像光源21、分束器22、参考光路23、取样光路24和光谱系统25,其中, 所述制孔系统1用于发射加工激光; 所述成像光源21用于发射成像激光光束;所述分束器22用于将所述成像激光光束分为参考光束和取样光束;所述参考光路23用于对所述参考光束进行相位调整和色散补偿,并将光束返回至所述光谱系统25形成第一耦合光束;所述取样光路24用于调整所述取样光束的路线以使得所述取样光束与所述加工激光合束,形成入射光束; 所述微动进给模块3用于使所述入射光束汇聚于样品表面以进行钻孔; 所述取样光路24还用于将所述样品反射的光束返回至所述光谱系统25形成第二耦合光束; 所述光谱系统25用于将所述第一耦合光束和所述第二耦合光束进行耦合形成耦合光束,并使所述耦合光束形成相干光束,记录所述相干光束的波峰数并显示所述相干光束的相干图像; 所述控制系统4与所述谱系统25、所述微动进给模块3连接,用于根据所述相干光束的波峰数和所述相干图像的相邻条纹间距计算微动进给模块3的移动距离,并根据所述移动距离控制所述微动进给模块3进行移动,实现对所述入射光束的焦点位置进行实时调节。
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