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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313168B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211626404.2，技术领域涉及：G21B1/23；该发明授权一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法是由刘景全;徐梦飞;林祖德;刘武;曹佳炜设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法，包括：下压缩锥支撑片，其位于底部，设置有下压缩锥装配孔和夹持端；上压缩锥支撑片，其与下压缩锥支撑片平行，其设置有上压缩锥装配孔；点火锥支撑片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有点火锥装配孔；承托片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有调整观测孔；装配孔均设置有点胶槽。本发明模块化设计满足打靶实验对于靶加工的高灵活性需求，MEMS加工技术解决高尺寸精度的问题，SOI硅片的使用从技术层面实现了不同批次零部件加工结果的高均一性。对于靶支撑结构形成可靠的技术线路，满足点火实验对各个参数靶的灵活需求和批量化生产要求。

本发明授权一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法在权利要求书中公布了：1.一种激光聚变点火的靶支撑结构，其特征在于，包括四个部分，分别为： 下压缩锥支撑片，所述下压缩锥支撑片位于底部，其设置有下压缩锥装配孔和夹持端； 上压缩锥支撑片，所述上压缩锥支撑片与所述下压缩锥支撑片平行，其设置有上压缩锥装配孔； 点火锥支撑片，所述点火锥支撑片竖向设置，连接所述下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有点火锥装配孔； 承托片，所述承托片竖向设置，与所述点火锥支撑片平行，连接所述下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有调整观测孔； 所述下压缩锥装配孔、上压缩锥装配孔和点火锥装配孔的外侧均设置有点胶槽； 所述靶支撑结构采用模块化设计加工而成，利用MEMS技术的方法分别加工出所述下压缩锥支撑片、上压缩锥支撑片、点火锥支撑片和承托片，之后通过组装形成靶支撑结构； MEMS加工方法，包括： 取SOI晶圆，在正面旋涂光刻胶，并通过光刻图形化形成掩模； 以光刻胶作为掩模，通过刻蚀对SOI的顶层硅进行图形化，之后去除光刻胶； 在正面旋涂光刻胶，并通过光刻图形化形成掩模； 以光刻胶作为掩模，通过介质刻蚀对SOI的埋氧层二氧化硅进行图形化，之后去除光刻胶； 在正面旋涂光刻胶，作为背面刻蚀的正面保护胶； 在背面沉积一层介质层； 在背面旋涂光刻胶，并通过光刻图形化形成掩模； 以光刻胶作为掩模，通过介质刻蚀对沉积的介质层进行图形化； 以介质层作为掩模，通过刻蚀对SOI的底层硅进行图形化； 背面刻蚀形成通孔后，单个的支撑片或承托片从晶圆释放下来，最后去除光刻胶，并将支撑结构的四部分组装起来。

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