广东工业大学张昱获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种芯片烧结方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115714092B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211440125.7，技术领域涉及：H01L21/603；该发明授权一种芯片烧结方法是由张昱;吴松;杨凯;彭琳峰;崔成强;杨冠南设计研发完成，并于2022-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片烧结方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种芯片烧结方法，以烧结炉对芯片进行烧结，该方法包括以下步骤：将工件放置于夹具，将夹具固定于下工作台的顶面；向炉体内通入保护气体和调整烧炉体内的真空度；使下工作台内的磁场产生装置产生磁场，由磁性材料制成的上工作台在磁场作用下向下工作台移动，并对下工作台上的工件加压；缠绕在炉体的电磁加热线圈对炉体进行加热，使炉体内部升温，对工件进行烧结；烧结完成后，使炉体内泄压，取出工件，即得到烧结后的芯片。基于电磁加热的升温速度快、电磁驱动的下压速度控制更精准的特点，使得芯片烧结加工速度快和加工更精准，有效地减少加压过程对样品的伤害，同时实现控制保压时间，实现程序化加压和减压。
本发明授权一种芯片烧结方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片烧结方法，其特征在于，以烧结炉对芯片进行烧结，所述烧结炉包括炉体、上工作台和下工作台，所述下工作台位于所述上工作台的正下方，所述上工作台可垂直移动，该方法包括以下步骤： （1）将工件放置于夹具，将夹具固定于所述下工作台的顶面； （2）向所述炉体内通入保护气体和调整烧炉体内的真空度； （3）使所述下工作台内的磁场产生装置产生磁场，由磁性材料制成的上工作台在磁场作用下向所述下工作台移动，并对所述下工作台上的工件加压； （4）缠绕在所述炉体的电磁加热线圈对炉体进行加热，使炉体内部升温，对工件进行烧结； （5）烧结完成后，使所述炉体内泄压，取出工件，即得到烧结后的芯片； 所述上工作台与所述炉体内壁之间连接有拉力传感器，通过所述拉力传感器获得所述上工作台对工件加压的压力； 所述磁场产生装置连接有电磁控制装置，所述电磁控制装置根据所述拉力传感器的拉力信号控制所述磁场产生装置产生磁场的强度和形状。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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