买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉桂林电子科技大学申请的专利溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116261389B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211430380.3，技术领域涉及：H10N30/078；该发明授权溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线是由陈雪;虞洋;颜欢;孟相鹏设计研发完成，并于2022-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线在说明书摘要公布了：本发明公开了一种溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，涉及半导体材料制备，主要包括有传送组件、机械臂、机械爪、多层自动涂膜设备和退火炉设备，能够连续进行薄膜制备的溶胶旋涂和退火工作，大幅度提高生产线的自动化程度，并大大提高了制备压电薄膜的工作效率，且能够批量化制备压电薄膜，并能够实现压电薄膜在制备时进行反复的溶胶旋涂以及退火工作，以助于实现压电薄膜的自动化、批量化、连续化生产。

本发明授权溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线在权利要求书中公布了：1.一种溶胶凝胶法批量化制备压电薄膜的全自动生产线，其特征在于，包括有： 多层自动涂膜设备（4），其用于对硅片进行溶胶旋涂；所述多层自动涂膜设备（4）包括有： 涂膜机（401），其上设置有能够由涂膜机（401）驱动转动的片托（402），所述片托（402）上设有吸盘以通过负压吸附硅片； 安装台（415），其上设置有互相平行的滴胶滑轨（410）和滴胶丝杠（412），所述滴胶丝杠（412）由安装在所述安装台（415）上的滴胶电机（411）驱动转动，所述滴胶滑轨（410）上滑动设置有滴胶滑块（409），所述滴胶滑块（409）上设置有螺母连接件（413），所述螺母连接件（413）与所述滴胶丝杠（412）通过螺纹连接； 所述滴胶滑块（409）上还设置有滑座（408），所述滑座（408）上设置有横向设置的直线滑轨（407），所述直线滑轨（407）上套装有夹具（406），所述夹具（406）上安装有舵机（405），所述夹具（406）上竖向滑动设置有升降条（404），升降条（404）为齿条，所述舵机（405）的输出轴上设置有齿轮并与所述升降条（404）相啮合；所述升降条（404）上设置有用于向位于片托（402）上的硅片滴胶的滴胶器（403）； 退火炉设备（10），其用于对溶胶旋涂好的硅片进行退火； 第一传送带（3）和第二传送带（12），所述第二传送带（12）的出料端与所述第一传送带（3）的进料端相连接，所述第一传送带（3）的出料端与所述退火炉设备（10）的进料端相连接，所述第二传送带（12）的进料端与所述退火炉设备（10）的出料端相连接； 料盘（2），其至少为一个，所述料盘（2）用于装载硅片，且所述料盘（2）能够在所述退火炉设备（10）、第一传送带（3）和第二传送带（12）上传送； 机械臂（6），其上设置有机械爪（5），所述机械臂（6）能够带动所述机械爪（5）并驱动所述机械爪（5）抓取通过所述第一传送带（3）传送的料盘（2）上的硅片并放置于所述多层自动涂膜设备（4）上以对硅片进行溶胶旋涂，并将溶胶旋涂好的硅片放回所述第一传送带（3）的料盘（2）上； 所述机械爪（5）包括有电机架（502）、连杆（505）和曲柄（510）； 所述机械爪（5）上设置有机械爪电机（501），所述电机架（502）的底部设置有连接盘（503），所述连接盘（503）绕周向设置有多个连接件（504），所述连杆（505）为多个，所述连杆（505）的一端与连接件（504）转动连接，另一端转动连接有手爪（506），且每两个互相平行的所述连杆（505）为一组，分布在所述连接件（504）的同一侧上； 所述机械爪电机（501）的输出轴通过联轴器（513）连接有竖向设置的连接螺杆（508），所述连接螺杆（508）上套设有法兰螺母（507），所述法兰螺母（507）绕周向设置有多个曲柄连接部件（512），所述连接盘（503）还设置有与所述连接螺杆（508）延伸方向一致的导杆（509），所述曲柄连接部件（512）上开设有用于给导杆（509）通过的通孔； 所述曲柄（510）的数量与曲柄连接部件（512）和手爪（506）的数量相一致，所述曲柄（510）一端与曲柄连接部件（512）转动连接，另一端与手爪（506）对应的连杆（505）转动连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人桂林电子科技大学，其通讯地址为：541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。