浙江确安科技有限公司陈保满获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江确安科技有限公司申请的专利一种晶圆偏移检测方法、系统、存储介质和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115861183B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211413901.4，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆偏移检测方法、系统、存储介质和电子设备是由陈保满设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆偏移检测方法、系统、存储介质和电子设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆偏移检测方法、系统、存储介质和电子设备，包括：获取目标晶圆的MAP图像；其中，所述MAP图像中包括：所述目标晶圆的每个Die的坐标和Bin值；基于所述MAP图像的任一预设边缘区域内的每个Die对应的Bin值，计算得到该预设边缘区域的边缘良率，直至得到所述MAP图像的每个预设边缘区域的边缘良率；根据每个边缘良率，确定所述目标晶圆是否发生偏移。本发明通过对晶圆的边缘区域的良率进行计算，在提高晶圆偏移检测效率的同时，避免了因晶圆发生偏移造成的重大质量问题和成本损失。
本发明授权一种晶圆偏移检测方法、系统、存储介质和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆偏移检测方法，其特征在于，包括： 获取目标晶圆的MAP图像；其中，所述MAP图像中包括：所述目标晶圆的每个Die的坐标和Bin值； 基于所述MAP图像的任一预设边缘区域内的每个Die对应的Bin值，计算得到该预设边缘区域的边缘良率，直至得到所述MAP图像的每个预设边缘区域的边缘良率；其中，所述MAP图像的所有预设边缘区域包括：上边缘区域、下边缘区域、左边缘区域和右边缘区域； 判断所述上边缘区域的边缘良率和所述下边缘区域的边缘良率之间的差值是否处于上下偏移预设范围内，得到第一判断结果，并判断所述左边缘区域的边缘良率和所述右边缘区域的边缘良率是否处于左右偏移预设范围内，得到第二判断结果； 当所述第一判断结果为是且所述第二判断结果为是时，判定所述目标晶圆未发生偏移；当所述第一判断结果为否且所述第二判断结果为是时，判定所述目标晶圆发生上下偏移；当所述第一判断结果为是且所述第二判断结果为否时，判定所述目标晶圆发生左右偏移；当所述第一判断结果为否且所述第二判断结果为否时，判定所述目标晶圆发生上下偏移与左右偏移。
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