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龙图腾网获悉上海微高精密机械工程有限公司申请的专利一种多尺寸的晶圆预对准定心装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116207032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211302495.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种多尺寸的晶圆预对准定心装置是由焦培俊;马很很;郎小虎;姜晨;周勇宇设计研发完成，并于2022-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多尺寸的晶圆预对准定心装置在说明书摘要公布了：一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，包括转盘、基板、晶圆固定座以及多个沿基板周向设置的夹持机构，基板通过连接轴转动连接在转盘上方，晶圆固定座设置在多个夹持机构的中心处，每一个夹持机构均包括用于夹持晶圆的第一夹持板和第二夹持板，第一夹持板通过弹簧杆转动连接在第二夹持板上，第一夹持板的内侧设有第一弧形槽，夹持机构下方还固定有支撑杆，基板上设有通槽，转盘上设有与通槽对应的弧形槽，支撑杆的一端穿过通槽并延伸至所述弧形槽内，基板上还设有用于限制支撑杆向基板外沿运动的压力弹簧，本发明通过设置第一夹持板和第二夹持板可以实现两种不同尺寸晶圆的预对准定心，提高设备利用率，节省成本，实用性强。

本发明授权一种多尺寸的晶圆预对准定心装置在权利要求书中公布了：1.一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，包括转盘、基板、晶圆固定座以及多个沿所述基板周向设置的夹持机构，基板通过连接轴转动连接在所述转盘上方，所述晶圆固定座设置在多个夹持机构的中心处，每一个夹持机构均包括用于夹持晶圆的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板通过弹簧杆转动连接在第二夹持板上，第一夹持板的内侧设有第一弧形槽，第二夹持板的内侧设有第二弧形槽，夹持机构下方还固定有支撑杆，基板上设有通槽，转盘上设有与所述通槽对应的弧形槽，所述支撑杆的一端穿过通槽并延伸至所述弧形槽内，基板上还设有用于限制支撑杆向基板外沿运动的压力弹簧，第一夹持板的下方设有与第一夹持板一体成型的第一固定板，所述第二夹持板的下方设有与第二夹持板一体成型的第二固定板，弹簧杆转动连接在所述第一固定板和第二固定板之间，第一固定板和第二固定板上均设有安装板，所述弹簧杆包括导向杆、滑杆以及伸缩弹簧，所述滑杆套设在导向杆内并可沿导向杆的长度方向滑动，所述伸缩弹簧套设在导向杆的外壁上，且伸缩弹簧的两端分别固定在导向杆和滑杆上，导向杆和滑杆穿过安装板分别与第一固定板和第二固定板之间转动连接。

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