上海微高精密机械工程有限公司王鹏举获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微高精密机械工程有限公司申请的专利一种多规格晶片中心检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115483139B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211228328.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种多规格晶片中心检测装置是由王鹏举;马很很;普伟;陆宇琦;任高远设计研发完成，并于2022-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多规格晶片中心检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种多规格晶片中心检测装置，包括对称设置的光源及信号采集单元、用于放置晶片的旋转台、表面反射镜片以及反射镜片，光源及信号采集单元发出的检测光束依次经表面反射镜片和反射镜片的反射后竖直投射在固定在旋转台的晶片边缘，反射镜片上设有高度调节机构，反射镜片通过高度调节机构的上下动作改变投射在晶片上的位置，本发明通过设置表面反射镜片以及反射镜片，可以将光源及信号采集单元发出的检测光束投射在边缘，进而完成晶片中心位置检测，其次，本发明通过高度调节机构的上下动作可以改变反射镜片投射在晶片上的位置，从而可以实现不同尺寸规格晶片的边缘数据检测采集。
本发明授权一种多规格晶片中心检测装置在权利要求书中公布了：1.一种多规格晶片中心检测装置，其特征在于，包括对称设置的光源及信号采集单元、用于放置晶片的旋转台、表面反射镜片以及反射镜片，所述光源及信号采集单元发出的检测光束依次经表面反射镜片和反射镜片的反射后竖直投射在固定在旋转台的晶片边缘，反射镜片上设有高度调节机构，反射镜片通过高度调节机构的上下动作改变投射在晶片上的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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