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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利上电极装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115376878B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211065071.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权上电极装置及半导体工艺设备是由赵晋荣;陈星;韦刚;王海莉设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本上电极装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种上电极装置及半导体工艺设备，应用于半导体工艺设备，包括相互嵌套，且半径由大至小依次设置的第一线圈、第二线圈和第三线圈，以及开关组件，其中，第一线圈和第三线圈相互并联，并与射频源电连接，且流经第一线圈的电流方向与流经第三线圈的电流方向相同；开关组件用于选择性地将第二线圈与射频源接通或断开，且在开关组件接通第二线圈与射频源时，流经第二线圈的电流方向与流经第一线圈的电流方向相反。本发明提供的上电极装置及半导体工艺设备，可以解决现有技术中无法适用于对刻蚀速率要求较高的工艺的问题。

本发明授权上电极装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种上电极装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括相互嵌套，且半径由大至小依次设置的第一线圈、第二线圈和第三线圈，以及开关组件，其中， 所述第一线圈和所述第三线圈相互并联，并与射频源电连接，且流经所述第一线圈的电流方向与流经所述第三线圈的电流方向相同； 所述开关组件用于选择性地将所述第二线圈与所述射频源接通或断开，且在所述开关组件接通所述第二线圈与所述射频源时，流经所述第二线圈的电流方向与流经所述第一线圈的电流方向相反，并且 在所述开关组件接通所述第二线圈与所述射频源时，所述第一线圈、所述第二线圈和所述第三线圈相互并联； 所述第一线圈和所述第三线圈的缠绕方向相同，且与所述第二线圈的缠绕方向相反；所述的第一线圈、第二线圈和第三线圈的缠绕始端均为射频馈入端和射频馈出端中的一者，所述的第一线圈、第二线圈和第三线圈的缠绕末端均为所述射频馈入端和射频馈出端中的另一者；或者， 所述的第一线圈、第二线圈和第三线圈的缠绕方向相同，且所述第一线圈和所述第三线圈的缠绕始端、所述第二线圈的缠绕末端均为所述射频馈入端和射频馈出端中的一者，所述第一线圈和所述第三线圈的缠绕末端、所述第二线圈的缠绕始端均为所述射频馈入端和射频馈出端中的另一者。

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